河北科技师范学院学报
河北科技師範學院學報
하북과기사범학원학보
JOURNAL OF HEBEI NORMAL UNIVERSITY OF SCIENCE & TECHNOLOGY
2008年
2期
62-65
,共4页
TiO2薄膜%电子束蒸发%热处理%锐钛矿%金红石
TiO2薄膜%電子束蒸髮%熱處理%銳鈦礦%金紅石
TiO2박막%전자속증발%열처리%예태광%금홍석
研究了热处理对电子束蒸发法制备的TiO2薄膜结构和表面形貌的影响.利用X射线衍射仪和原子力显微镜,检测了TiO2薄膜的晶体结构和表面形貌.实验结果显示:沉积态TiO2薄膜为非晶态;低温(400℃以下)退火TiO2薄膜开始向锐钛矿相转变;高温退火(850℃以下)TiO2薄膜由锐钛矿向金红石相转变.
研究瞭熱處理對電子束蒸髮法製備的TiO2薄膜結構和錶麵形貌的影響.利用X射線衍射儀和原子力顯微鏡,檢測瞭TiO2薄膜的晶體結構和錶麵形貌.實驗結果顯示:沉積態TiO2薄膜為非晶態;低溫(400℃以下)退火TiO2薄膜開始嚮銳鈦礦相轉變;高溫退火(850℃以下)TiO2薄膜由銳鈦礦嚮金紅石相轉變.
연구료열처리대전자속증발법제비적TiO2박막결구화표면형모적영향.이용X사선연사의화원자력현미경,검측료TiO2박막적정체결구화표면형모.실험결과현시:침적태TiO2박막위비정태;저온(400℃이하)퇴화TiO2박막개시향예태광상전변;고온퇴화(850℃이하)TiO2박막유예태광향금홍석상전변.
