功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
5期
864-870
,共7页
气-液-固法%金属催化剂%纳米线与阵列%生长机制
氣-液-固法%金屬催化劑%納米線與陣列%生長機製
기-액-고법%금속최화제%납미선여진렬%생장궤제
气-液-固法(VLS)是目前生长各种准一维纳米结构的主要工艺技术.本文首先介绍了VLS的生长原理,然后以生长机制为主线,着重评论了近3-5年内它在ZnO、GaN、Si以及SiC等纳米线及其阵列合成中应用的某些新进展.最后提出了改进VLS方法的几项措施,并展望了它的今后发展趋势.
氣-液-固法(VLS)是目前生長各種準一維納米結構的主要工藝技術.本文首先介紹瞭VLS的生長原理,然後以生長機製為主線,著重評論瞭近3-5年內它在ZnO、GaN、Si以及SiC等納米線及其陣列閤成中應用的某些新進展.最後提齣瞭改進VLS方法的幾項措施,併展望瞭它的今後髮展趨勢.
기-액-고법(VLS)시목전생장각충준일유납미결구적주요공예기술.본문수선개소료VLS적생장원리,연후이생장궤제위주선,착중평론료근3-5년내타재ZnO、GaN、Si이급SiC등납미선급기진렬합성중응용적모사신진전.최후제출료개진VLS방법적궤항조시,병전망료타적금후발전추세.
