CAJ | 학술논문

万方数据

稀有金属材料与工程 희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2009年 2期 295-298 ,共4页

吉宏林%储成林%王如萌%张旭海%张文艳%董寅生%郭超%盛晓波%林萍华%朱剑豪

길굉림%저성림%왕여맹%장욱해%장문염%동인생%곽초%성효파%림평화%주검호

NiTi形状记忆合金%磁控溅射%Zr%膜%表面改性 NiTi形狀記憶閤金%磁控濺射%Zr%膜%錶麵改性
NiTi형상기억합금%자공천사%Zr%막%표면개성

通过直流平衡磁控溅射法在NiTi形状记忆合金基底上制备纯Zr膜,并采用SEM、XRD、XPS等对Zr膜的组织结构进行研究.结果表明:Zr膜具有晶带T型结构,组织保持细小致密的纤维状特征,没有空洞和锥状形态,表面平整,与基体结合良好;膜和其块体Zr靶材晶体结构一致,出现少量的生物惰性ZrO2陶瓷相.最后,对磁控溅射沉积Zr膜的机制进行了探讨.
통과직류평형자공천사법재NiTi형상기억합금기저상제비순Zr막,병채용SEM、XRD、XPS등대Zr막적조직결구진행연구.결과표명:Zr막구유정대T형결구,조직보지세소치밀적섬유상특정,몰유공동화추상형태,표면평정,여기체결합량호;막화기괴체Zr파재정체결구일치,출현소량적생물타성ZrO2도자상.최후,대자공천사침적Zr막적궤제진행료탐토.