唐山师范学院学报
唐山師範學院學報
당산사범학원학보
JOURNAL OF TANGSHAN TEACHERS COLLEGE
2009年
2期
52-54
,共3页
许贺菊%高永春%侯淑莲%张久云%张丽%于威
許賀菊%高永春%侯淑蓮%張久雲%張麗%于威
허하국%고영춘%후숙련%장구운%장려%우위
外延ZnO薄膜%退火%孪晶%等离子体
外延ZnO薄膜%退火%孿晶%等離子體
외연ZnO박막%퇴화%련정%등리자체
采用螺旋波等离子体辅助溅射沉积法在衬底Al2O3的(0001)面上沉积ZnO薄膜,所生长的薄膜在未退火和退火时表现出不同的平面内取向.未退火时薄膜表现出较好的单筹异质外延生长,而退火后薄膜的Φ扫描图像中出现了12个峰,这表明退火后薄膜出现反相筹,表现为孪晶生长.重点分析了退火对螺旋波等离子体辅助溅射技术外延ZnO薄膜的结构及表面形貌的影响规律,为外延ZnO薄膜质量的提高及该技术应用的探索奠定基础.
採用螺鏇波等離子體輔助濺射沉積法在襯底Al2O3的(0001)麵上沉積ZnO薄膜,所生長的薄膜在未退火和退火時錶現齣不同的平麵內取嚮.未退火時薄膜錶現齣較好的單籌異質外延生長,而退火後薄膜的Φ掃描圖像中齣現瞭12箇峰,這錶明退火後薄膜齣現反相籌,錶現為孿晶生長.重點分析瞭退火對螺鏇波等離子體輔助濺射技術外延ZnO薄膜的結構及錶麵形貌的影響規律,為外延ZnO薄膜質量的提高及該技術應用的探索奠定基礎.
채용라선파등리자체보조천사침적법재츤저Al2O3적(0001)면상침적ZnO박막,소생장적박막재미퇴화화퇴화시표현출불동적평면내취향.미퇴화시박막표현출교호적단주이질외연생장,이퇴화후박막적Φ소묘도상중출현료12개봉,저표명퇴화후박막출현반상주,표현위련정생장.중점분석료퇴화대라선파등리자체보조천사기술외연ZnO박막적결구급표면형모적영향규률,위외연ZnO박막질량적제고급해기술응용적탐색전정기출.
