机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2009年
9期
261-265
,共5页
刘豪%尚德广%马新平%孙国芹%李德胜
劉豪%尚德廣%馬新平%孫國芹%李德勝
류호%상덕엄%마신평%손국근%리덕성
电镀%铜薄膜%疲劳%寿命预测
電鍍%銅薄膜%疲勞%壽命預測
전도%동박막%피로%수명예측
利用MMT-11N微机械疲劳试验系统对11.5 μm厚无基体支持的电镀铜薄膜试件的拉伸疲劳特性进行了试验研究.试件采用准LIGA工艺制作.试验在室温条件下进行,采用载荷控制、脉动循环加载,载荷频率为20 Hz,得到了铜薄膜光滑试件和缺口试件的S-N曲线,根据传统宏观疲劳理论确定了铜薄膜循环应力-应变曲线和应变-寿命曲线.利用修正局部应力-应变法对缺口试件的疲劳寿命进行了预测,预测寿命与试验寿命误差在3.2倍因子之内,预测结果较好地符合试验结果.试验表明,取半寿命周期的迟滞回线作为稳定迟滞回线在微机械疲劳中仍是可信的,局部应力-应变法亦可应用于微机电系统疲劳寿命预测,宏观疲劳理论在一定程度上也适合于描述微机械疲劳.
利用MMT-11N微機械疲勞試驗繫統對11.5 μm厚無基體支持的電鍍銅薄膜試件的拉伸疲勞特性進行瞭試驗研究.試件採用準LIGA工藝製作.試驗在室溫條件下進行,採用載荷控製、脈動循環加載,載荷頻率為20 Hz,得到瞭銅薄膜光滑試件和缺口試件的S-N麯線,根據傳統宏觀疲勞理論確定瞭銅薄膜循環應力-應變麯線和應變-壽命麯線.利用脩正跼部應力-應變法對缺口試件的疲勞壽命進行瞭預測,預測壽命與試驗壽命誤差在3.2倍因子之內,預測結果較好地符閤試驗結果.試驗錶明,取半壽命週期的遲滯迴線作為穩定遲滯迴線在微機械疲勞中仍是可信的,跼部應力-應變法亦可應用于微機電繫統疲勞壽命預測,宏觀疲勞理論在一定程度上也適閤于描述微機械疲勞.
이용MMT-11N미궤계피로시험계통대11.5 μm후무기체지지적전도동박막시건적랍신피로특성진행료시험연구.시건채용준LIGA공예제작.시험재실온조건하진행,채용재하공제、맥동순배가재,재하빈솔위20 Hz,득도료동박막광활시건화결구시건적S-N곡선,근거전통굉관피로이론학정료동박막순배응력-응변곡선화응변-수명곡선.이용수정국부응력-응변법대결구시건적피로수명진행료예측,예측수명여시험수명오차재3.2배인자지내,예측결과교호지부합시험결과.시험표명,취반수명주기적지체회선작위은정지체회선재미궤계피로중잉시가신적,국부응력-응변법역가응용우미궤전계통피로수명예측,굉관피로이론재일정정도상야괄합우묘술미궤계피로.
