真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2010年
3期
288-292
,共5页
张文杰%李汝愿%李瑛%朱圣龙%王福会
張文傑%李汝願%李瑛%硃聖龍%王福會
장문걸%리여원%리영%주골룡%왕복회
TiO2%光催化%磁控溅射%Fe掺杂
TiO2%光催化%磁控濺射%Fe摻雜
TiO2%광최화%자공천사%Fe참잡
采用直流磁控反应混合靶共溅射的方法,在玻璃基体上制备出了Fe掺杂的TiO2膜,优化了沉积条件以制备出均匀透明的TiO2膜.通过调整固定在Ti靶上的Fe片面积可以控制膜中Fe的浓度.随着Fe浓度的增加,膜的表面形貌从平整变得粗糙.Fe含量低的膜为锐钛矿晶体结构,在Fe含量高的膜中出现了Fe的氧化物.在纯TiO2膜中钛以Ti4+的形式存在,而在含Fe的膜中钛的氧化态下降,出现了混合价态.Fe的存在导致膜的光谱吸收边沿向可见光谱方向移动.Fe掺杂浓度低的膜比纯TiO2膜表现出了更强的光催化活性.另一方面,过多Fe的掺杂导致TiO2膜的光催化活性快速下降.
採用直流磁控反應混閤靶共濺射的方法,在玻璃基體上製備齣瞭Fe摻雜的TiO2膜,優化瞭沉積條件以製備齣均勻透明的TiO2膜.通過調整固定在Ti靶上的Fe片麵積可以控製膜中Fe的濃度.隨著Fe濃度的增加,膜的錶麵形貌從平整變得粗糙.Fe含量低的膜為銳鈦礦晶體結構,在Fe含量高的膜中齣現瞭Fe的氧化物.在純TiO2膜中鈦以Ti4+的形式存在,而在含Fe的膜中鈦的氧化態下降,齣現瞭混閤價態.Fe的存在導緻膜的光譜吸收邊沿嚮可見光譜方嚮移動.Fe摻雜濃度低的膜比純TiO2膜錶現齣瞭更彊的光催化活性.另一方麵,過多Fe的摻雜導緻TiO2膜的光催化活性快速下降.
채용직류자공반응혼합파공천사적방법,재파리기체상제비출료Fe참잡적TiO2막,우화료침적조건이제비출균균투명적TiO2막.통과조정고정재Ti파상적Fe편면적가이공제막중Fe적농도.수착Fe농도적증가,막적표면형모종평정변득조조.Fe함량저적막위예태광정체결구,재Fe함량고적막중출현료Fe적양화물.재순TiO2막중태이Ti4+적형식존재,이재함Fe적막중태적양화태하강,출현료혼합개태.Fe적존재도치막적광보흡수변연향가견광보방향이동.Fe참잡농도저적막비순TiO2막표현출료경강적광최화활성.령일방면,과다Fe적참잡도치TiO2막적광최화활성쾌속하강.
