中国科学E辑
中國科學E輯
중국과학E집
SCIENCE IN CHINA (SERIES E)
2004年
3期
261-267
,共7页
延凤平%简水生%尾形健一%小池一步%佐佐诚彦%井上正崇%矢野满明
延鳳平%簡水生%尾形健一%小池一步%佐佐誠彥%井上正崇%矢野滿明
연봉평%간수생%미형건일%소지일보%좌좌성언%정상정숭%시야만명
ZnMgO 薄膜 Mg组分 分子束外延(MBE)
ZnMgO 薄膜 Mg組分 分子束外延(MBE)
ZnMgO 박막 Mg조분 분자속외연(MBE)
利用电感耦合等离子体(ICP)及电子束探针微分析(EPMA)装置对等离子体辅助的分子束外延(MBE)法在蓝宝石衬底上生长的Zn1-xMgxO薄膜的Mg组分进行了测试.经理论分析,导出适合于生长过程中Zn过剩和Zn不足两种情况下进行Mg组分分析的理论模型.进一步针对Zn过剩的生长条件,得出表示薄膜的Mg组分与薄膜生长过程中Mg坩埚温度之间关系的数学表达式,并通过实验测试验证了这一表达式的正确性.
利用電感耦閤等離子體(ICP)及電子束探針微分析(EPMA)裝置對等離子體輔助的分子束外延(MBE)法在藍寶石襯底上生長的Zn1-xMgxO薄膜的Mg組分進行瞭測試.經理論分析,導齣適閤于生長過程中Zn過剩和Zn不足兩種情況下進行Mg組分分析的理論模型.進一步針對Zn過剩的生長條件,得齣錶示薄膜的Mg組分與薄膜生長過程中Mg坩堝溫度之間關繫的數學錶達式,併通過實驗測試驗證瞭這一錶達式的正確性.
이용전감우합등리자체(ICP)급전자속탐침미분석(EPMA)장치대등리자체보조적분자속외연(MBE)법재람보석츤저상생장적Zn1-xMgxO박막적Mg조분진행료측시.경이론분석,도출괄합우생장과정중Zn과잉화Zn불족량충정황하진행Mg조분분석적이론모형.진일보침대Zn과잉적생장조건,득출표시박막적Mg조분여박막생장과정중Mg감과온도지간관계적수학표체식,병통과실험측시험증료저일표체식적정학성.
