金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2004年
10期
1037-1040
,共4页
马大衍%马胜利%徐可为%S.Veprek
馬大衍%馬勝利%徐可為%S.Veprek
마대연%마성리%서가위%S.Veprek
PCVD%TiN%Si3N4%薄膜%硬度%氧含量
PCVD%TiN%Si3N4%薄膜%硬度%氧含量
PCVD%TiN%Si3N4%박막%경도%양함량
用直流等离子体增强化学气相沉积设备在不锈钢表面沉积纳米晶TiN和纳米非晶Si3N4复相薄膜.主要研究了氧元素对薄膜硬度的影响.结果表明,薄膜中极其微量的氧含量就会使nc-TiN+a-Si3N4薄膜的硬度大幅降低.薄膜中氧含量小于0.2%(原子分数),薄膜硬度可以达到45-55 Gpa,而氧含量升至1%-1.5%后,薄膜硬度降至30 Gpa左右.其原因与晶界处形成SiOx相有关.
用直流等離子體增彊化學氣相沉積設備在不鏽鋼錶麵沉積納米晶TiN和納米非晶Si3N4複相薄膜.主要研究瞭氧元素對薄膜硬度的影響.結果錶明,薄膜中極其微量的氧含量就會使nc-TiN+a-Si3N4薄膜的硬度大幅降低.薄膜中氧含量小于0.2%(原子分數),薄膜硬度可以達到45-55 Gpa,而氧含量升至1%-1.5%後,薄膜硬度降至30 Gpa左右.其原因與晶界處形成SiOx相有關.
용직류등리자체증강화학기상침적설비재불수강표면침적납미정TiN화납미비정Si3N4복상박막.주요연구료양원소대박막경도적영향.결과표명,박막중겁기미량적양함량취회사nc-TiN+a-Si3N4박막적경도대폭강저.박막중양함량소우0.2%(원자분수),박막경도가이체도45-55 Gpa,이양함량승지1%-1.5%후,박막경도강지30 Gpa좌우.기원인여정계처형성SiOx상유관.
