鲁东大学学报（自然科学版）
魯東大學學報（自然科學版）
로동대학학보（자연과학판）
LUDONG UNIVERSITY JOURNAL(NATURAL SCIENCE EDITION)
2008年
2期
145-148
,共4页
李爱丽%王本军%闫金良%孙学卿%秦清松
李愛麗%王本軍%閆金良%孫學卿%秦清鬆
리애려%왕본군%염금량%손학경%진청송
Cu膜%直流磁控溅射%光学透过率%面电阻
Cu膜%直流磁控濺射%光學透過率%麵電阻
Cu막%직류자공천사%광학투과솔%면전조
在室温条件下,用直流磁控溅射Cu靶制备出了不同厚度的Cu膜,测量了Cu膜的光学透过率和面电阻,分析了光电性质薄膜厚度的变化情况.实验结果表明,随着Cu膜厚度的增加,其光学透过率逐渐减小,透过率在波长为580 nm处出现峰值.Cu膜的面电阻随薄膜厚度的增加先急剧减小,然后减小变得缓慢,最后趋于定值.理论模拟了Cu膜的光学透过率随薄膜厚度的变化和光学透过率随入射光波长的变化,理论模拟结果与实验结果吻合.
在室溫條件下,用直流磁控濺射Cu靶製備齣瞭不同厚度的Cu膜,測量瞭Cu膜的光學透過率和麵電阻,分析瞭光電性質薄膜厚度的變化情況.實驗結果錶明,隨著Cu膜厚度的增加,其光學透過率逐漸減小,透過率在波長為580 nm處齣現峰值.Cu膜的麵電阻隨薄膜厚度的增加先急劇減小,然後減小變得緩慢,最後趨于定值.理論模擬瞭Cu膜的光學透過率隨薄膜厚度的變化和光學透過率隨入射光波長的變化,理論模擬結果與實驗結果吻閤.
재실온조건하,용직류자공천사Cu파제비출료불동후도적Cu막,측량료Cu막적광학투과솔화면전조,분석료광전성질박막후도적변화정황.실험결과표명,수착Cu막후도적증가,기광학투과솔축점감소,투과솔재파장위580 nm처출현봉치.Cu막적면전조수박막후도적증가선급극감소,연후감소변득완만,최후추우정치.이론모의료Cu막적광학투과솔수박막후도적변화화광학투과솔수입사광파장적변화,이론모의결과여실험결과문합.
