CAJ | 학술논문

为降低溅射过程中摹片温度的上升,进而成功制备非晶多孔、纳米微晶态电致变色薄膜和非晶态离子导电薄膜,介绍了一种配置于磁控溅射设备的液氮冷却装置.利用该装置制备了由WO3、NiOx和LiNbO3 薄膜组成的单基片全无机电致变色智能窗器件.采用分光光度计对该器件的电致变色性能进行了测试,并计算了它的漂白和着色态在400 nm到800 nm波长范围内的平均透射率.实验结果表明,经过50次循环后,该器件的漂白和着色态的平均透射率分别为61.5%和5.5%.X射线衍射和扫描电镜(SEM)图像显示,组成该器件的WO2、NiOx和LiNbO3薄膜分别为非晶多孔、纳米微晶和非晶态结构.
위강저천사과정중모편온도적상승,진이성공제비비정다공、납미미정태전치변색박막화비정태리자도전박막,개소료일충배치우자공천사설비적액담냉각장치.이용해장치제비료유WO3、NiOx화LiNbO3 박막조성적단기편전무궤전치변색지능창기건.채용분광광도계대해기건적전치변색성능진행료측시,병계산료타적표백화착색태재400 nm도800 nm파장범위내적평균투사솔.실험결과표명,경과50차순배후,해기건적표백화착색태적평균투사솔분별위61.5%화5.5%.X사선연사화소묘전경(SEM)도상현시,조성해기건적WO2、NiOx화LiNbO3박막분별위비정다공、납미미정화비정태결구.