红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2009年
1期
41-44
,共4页
张立群%张书明%江德生%朱建军%赵德刚%杨辉
張立群%張書明%江德生%硃建軍%趙德剛%楊輝
장립군%장서명%강덕생%주건군%조덕강%양휘
腔面%脊形高度%阈值电流%斜率效率
腔麵%脊形高度%閾值電流%斜率效率
강면%척형고도%역치전류%사솔효솔
GaN基激光器具有广泛的应用.如何获得平整腔面是蓝宝石衬底上制作GaN激光器的困难之一.通过对解理面的分析和不同衬底厚度时腔面形貌的比较,发现减薄衬底可以有效降低腔面粗糙度.当外延片厚度减薄至50μm时,获得近似镜面的腔面.激光器的测量证实了腔面的改善可以降低阈值电流,增加斜率效率.利用二维光波导模型计算了脊形高度对限制因子和远场分布的影响.计算结果说明,增加脊形高度可以增加限制因子,降低远场纵横比.通过测量具有不同脊形高度的器件,证实了脊形高度增加,阈值电流降低、远场纵横比减小.
GaN基激光器具有廣汎的應用.如何穫得平整腔麵是藍寶石襯底上製作GaN激光器的睏難之一.通過對解理麵的分析和不同襯底厚度時腔麵形貌的比較,髮現減薄襯底可以有效降低腔麵粗糙度.噹外延片厚度減薄至50μm時,穫得近似鏡麵的腔麵.激光器的測量證實瞭腔麵的改善可以降低閾值電流,增加斜率效率.利用二維光波導模型計算瞭脊形高度對限製因子和遠場分佈的影響.計算結果說明,增加脊形高度可以增加限製因子,降低遠場縱橫比.通過測量具有不同脊形高度的器件,證實瞭脊形高度增加,閾值電流降低、遠場縱橫比減小.
GaN기격광기구유엄범적응용.여하획득평정강면시람보석츤저상제작GaN격광기적곤난지일.통과대해리면적분석화불동츤저후도시강면형모적비교,발현감박츤저가이유효강저강면조조도.당외연편후도감박지50μm시,획득근사경면적강면.격광기적측량증실료강면적개선가이강저역치전류,증가사솔효솔.이용이유광파도모형계산료척형고도대한제인자화원장분포적영향.계산결과설명,증가척형고도가이증가한제인자,강저원장종횡비.통과측량구유불동척형고도적기건,증실료척형고도증가,역치전류강저、원장종횡비감소.
