稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2009年
1期
35-38
,共4页
张华%金薇%刘慧舟%冯校亮%杨坚
張華%金薇%劉慧舟%馮校亮%楊堅
장화%금미%류혜주%풍교량%양견
走带速率%Y2O3隔离层%反应溅射%表面形貌
走帶速率%Y2O3隔離層%反應濺射%錶麵形貌
주대속솔%Y2O3격리층%반응천사%표면형모
采用反应溅射的方法在具有立方织构的Ni基底上连续制备了 Y2O3隔离层.用X射线θ～2θ扫描, φ扫描对薄膜的取向和织构进行表征,用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的表面形貌进行观察.主要研究了走带速率对隔离层外延生长及表面形貌的影响.实验表明:随着走带速率的增大,Y2O3的平面内φ扫描半高宽(FWHM)增大,(400)峰的相对强度减小,晶粒更加细小;同时,制备的三层Y2O3隔离层,其面内φ扫描半高宽取决于第一层的半高宽;最终在三层Y2O3隔离层上沉积了有良好外延取向的YBCO超导层,其FWHM为8.0°.
採用反應濺射的方法在具有立方織構的Ni基底上連續製備瞭 Y2O3隔離層.用X射線θ～2θ掃描, φ掃描對薄膜的取嚮和織構進行錶徵,用掃描電子顯微鏡(SEM)對薄膜的錶麵形貌進行觀察.主要研究瞭走帶速率對隔離層外延生長及錶麵形貌的影響.實驗錶明:隨著走帶速率的增大,Y2O3的平麵內φ掃描半高寬(FWHM)增大,(400)峰的相對彊度減小,晶粒更加細小;同時,製備的三層Y2O3隔離層,其麵內φ掃描半高寬取決于第一層的半高寬;最終在三層Y2O3隔離層上沉積瞭有良好外延取嚮的YBCO超導層,其FWHM為8.0°.
채용반응천사적방법재구유립방직구적Ni기저상련속제비료 Y2O3격리층.용X사선θ～2θ소묘, φ소묘대박막적취향화직구진행표정,용소묘전자현미경(SEM)대박막적표면형모진행관찰.주요연구료주대속솔대격리층외연생장급표면형모적영향.실험표명:수착주대속솔적증대,Y2O3적평면내φ소묘반고관(FWHM)증대,(400)봉적상대강도감소,정립경가세소;동시,제비적삼층Y2O3격리층,기면내φ소묘반고관취결우제일층적반고관;최종재삼층Y2O3격리층상침적료유량호외연취향적YBCO초도층,기FWHM위8.0°.
