人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
4期
900-905
,共6页
李成明%王李梅%陈良贤%刘金龙%黑立富%吕反修
李成明%王李梅%陳良賢%劉金龍%黑立富%呂反脩
리성명%왕리매%진량현%류금룡%흑립부%려반수
直流电弧等离子体%区域电弧分布%自支撑金刚石膜
直流電弧等離子體%區域電弧分佈%自支撐金剛石膜
직류전호등리자체%구역전호분포%자지탱금강석막
直流电弧等离子体喷射法制备自支撑金刚石膜时,电弧区域可分为弧心、弧干和弧边三个区域.本文运用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、激光Raman光谱、正电子湮没寿命谱(PAL)和力学性能实验机研究了同一块自支撑金刚石膜不同区域的生长面形貌、晶体取向、内应力、空位缺陷和断裂强度.结果表明:随着与直流电弧等离子体弧心距离增加金刚石膜生长更稳定,(220)取向晶粒减少,平均空位缺陷减少,内应力和断裂强度呈现先增大后减小的趋势.
直流電弧等離子體噴射法製備自支撐金剛石膜時,電弧區域可分為弧心、弧榦和弧邊三箇區域.本文運用掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射(XRD)、激光Raman光譜、正電子湮沒壽命譜(PAL)和力學性能實驗機研究瞭同一塊自支撐金剛石膜不同區域的生長麵形貌、晶體取嚮、內應力、空位缺陷和斷裂彊度.結果錶明:隨著與直流電弧等離子體弧心距離增加金剛石膜生長更穩定,(220)取嚮晶粒減少,平均空位缺陷減少,內應力和斷裂彊度呈現先增大後減小的趨勢.
직류전호등리자체분사법제비자지탱금강석막시,전호구역가분위호심、호간화호변삼개구역.본문운용소묘전자현미경(SEM)、X사선연사(XRD)、격광Raman광보、정전자인몰수명보(PAL)화역학성능실험궤연구료동일괴자지탱금강석막불동구역적생장면형모、정체취향、내응력、공위결함화단렬강도.결과표명:수착여직류전호등리자체호심거리증가금강석막생장경은정,(220)취향정립감소,평균공위결함감소,내응력화단렬강도정현선증대후감소적추세.
