微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
7期
432-436
,共5页
段智勇%弓巧侠%罗康%赵立波%张慧敏%王庆康
段智勇%弓巧俠%囉康%趙立波%張慧敏%王慶康
단지용%궁교협%라강%조립파%장혜민%왕경강
纳米压印%紫外固化%真空负压施压%气体施压%图形转移
納米壓印%紫外固化%真空負壓施壓%氣體施壓%圖形轉移
납미압인%자외고화%진공부압시압%기체시압%도형전이
气体压力施压是实现纳米压印技术中将模板压入转移介质的重要技术路径,在克服应力不均匀、保护基片和模板等方面优势明显.报道了一种旨在提高压卬压力均匀性、低压力施压的真空负压紫外固化纳米压印系统的研制.制备真空腔室,腔室顶部利用弹性橡胶环结合紫外透过性好的SiO2玻璃与腔体连接,采用抽真空的方式形成负压,腔室外大气压强通过SiO2玻璃均匀地作用到压印模板上,将其压入液态紫外敏感光刻胶中,再采用紫外光固化光刻胶,分离后实现模板图形向基板的转移.压印力大小取决于腔室内外的气体压强差,通过调节腔室内部气压大小改变施加在模板上的实际压力,内部气压大小通过连通气压表观察.图形转移实验结果表明,所研制纳米压印样机系统能够实现图形的高保真转移,在基片上形成光刻胶材质的结果图形,500 nm特征线宽图形转移实验结果清晰,在较大面积基片上的压印压力均匀性良好.
氣體壓力施壓是實現納米壓印技術中將模闆壓入轉移介質的重要技術路徑,在剋服應力不均勻、保護基片和模闆等方麵優勢明顯.報道瞭一種旨在提高壓卬壓力均勻性、低壓力施壓的真空負壓紫外固化納米壓印繫統的研製.製備真空腔室,腔室頂部利用彈性橡膠環結閤紫外透過性好的SiO2玻璃與腔體連接,採用抽真空的方式形成負壓,腔室外大氣壓彊通過SiO2玻璃均勻地作用到壓印模闆上,將其壓入液態紫外敏感光刻膠中,再採用紫外光固化光刻膠,分離後實現模闆圖形嚮基闆的轉移.壓印力大小取決于腔室內外的氣體壓彊差,通過調節腔室內部氣壓大小改變施加在模闆上的實際壓力,內部氣壓大小通過連通氣壓錶觀察.圖形轉移實驗結果錶明,所研製納米壓印樣機繫統能夠實現圖形的高保真轉移,在基片上形成光刻膠材質的結果圖形,500 nm特徵線寬圖形轉移實驗結果清晰,在較大麵積基片上的壓印壓力均勻性良好.
기체압력시압시실현납미압인기술중장모판압입전이개질적중요기술로경,재극복응력불균균、보호기편화모판등방면우세명현.보도료일충지재제고압앙압력균균성、저압력시압적진공부압자외고화납미압인계통적연제.제비진공강실,강실정부이용탄성상효배결합자외투과성호적SiO2파리여강체련접,채용추진공적방식형성부압,강실외대기압강통과SiO2파리균균지작용도압인모판상,장기압입액태자외민감광각효중,재채용자외광고화광각효,분리후실현모판도형향기판적전이.압인력대소취결우강실내외적기체압강차,통과조절강실내부기압대소개변시가재모판상적실제압력,내부기압대소통과련통기압표관찰.도형전이실험결과표명,소연제납미압인양궤계통능구실현도형적고보진전이,재기편상형성광각효재질적결과도형,500 nm특정선관도형전이실험결과청석,재교대면적기편상적압인압력균균성량호.
