红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2011年
6期
1106-1110
,共5页
罗乐%储雅琼%秦娟娟%方晓东%方尚旭%陶汝华
囉樂%儲雅瓊%秦娟娟%方曉東%方尚旭%陶汝華
라악%저아경%진연연%방효동%방상욱%도여화
脉冲激光沉积法%类金刚石薄膜%衬底温度%沉积时间%黏附性%微观结构
脈遲激光沉積法%類金剛石薄膜%襯底溫度%沉積時間%黏附性%微觀結構
맥충격광침적법%류금강석박막%츤저온도%침적시간%점부성%미관결구
为了研究沉积时间和衬底温度对类金刚石薄膜的影响,在用脉冲激光沉积法在Al2O3衬底上制备类金刚石薄膜的实验中,保持其他实验参数不变,先取沉积时间分别为15 min和40 min来沉积薄膜；再取衬底温度分别30℃和300℃来沉积薄膜.用显微镜观察薄膜是否有起皱现象,用Raman光谱仪检测薄膜的微观结构,用原子力显微镜检测薄膜的表面形貌.结果表明:薄膜中存在一些石墨颗粒.沉积时间和衬底温度对薄膜的黏附性和微观结构均有显著影响——延长沉积时间或升高衬底温度都将导致薄膜内的残余应力增加和薄膜起皱.缩短沉积时间或升高衬底温度都将导致薄膜中的sp3/sp2比值减小、非晶态的sp2键向石墨晶相转化、石墨晶粒数量增多,体积增大.最后,根据脉冲激光沉积类金刚石薄膜的机理对实验现象进行了分析.
為瞭研究沉積時間和襯底溫度對類金剛石薄膜的影響,在用脈遲激光沉積法在Al2O3襯底上製備類金剛石薄膜的實驗中,保持其他實驗參數不變,先取沉積時間分彆為15 min和40 min來沉積薄膜；再取襯底溫度分彆30℃和300℃來沉積薄膜.用顯微鏡觀察薄膜是否有起皺現象,用Raman光譜儀檢測薄膜的微觀結構,用原子力顯微鏡檢測薄膜的錶麵形貌.結果錶明:薄膜中存在一些石墨顆粒.沉積時間和襯底溫度對薄膜的黏附性和微觀結構均有顯著影響——延長沉積時間或升高襯底溫度都將導緻薄膜內的殘餘應力增加和薄膜起皺.縮短沉積時間或升高襯底溫度都將導緻薄膜中的sp3/sp2比值減小、非晶態的sp2鍵嚮石墨晶相轉化、石墨晶粒數量增多,體積增大.最後,根據脈遲激光沉積類金剛石薄膜的機理對實驗現象進行瞭分析.
위료연구침적시간화츤저온도대류금강석박막적영향,재용맥충격광침적법재Al2O3츤저상제비류금강석박막적실험중,보지기타실험삼수불변,선취침적시간분별위15 min화40 min래침적박막；재취츤저온도분별30℃화300℃래침적박막.용현미경관찰박막시부유기추현상,용Raman광보의검측박막적미관결구,용원자력현미경검측박막적표면형모.결과표명:박막중존재일사석묵과립.침적시간화츤저온도대박막적점부성화미관결구균유현저영향——연장침적시간혹승고츤저온도도장도치박막내적잔여응력증가화박막기추.축단침적시간혹승고츤저온도도장도치박막중적sp3/sp2비치감소、비정태적sp2건향석묵정상전화、석묵정립수량증다,체적증대.최후,근거맥충격광침적류금강석박막적궤리대실험현상진행료분석.
