强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
7期
1695-1699
,共5页
徐曦%杨李茗%石琦凯%雷向阳%侯晶
徐晞%楊李茗%石琦凱%雷嚮暘%侯晶
서희%양리명%석기개%뢰향양%후정
磁流变%中频误差%走刀间距%抛光斑稳定性%去除深度
磁流變%中頻誤差%走刀間距%拋光斑穩定性%去除深度
자류변%중빈오차%주도간거%포광반은정성%거제심도
基于传统抛光的亚表面损伤层厚度,进行磁流变去除亚表面损伤层的实验以便验证在该加工方式下对元件中频误差的影响.计算机模拟结果及实验数据表明:磁流变加工的走刀间距会引起中频误差评价指标PSD曲线出现对应频率的峰值;抛光斑的不稳定性会引起PSD曲线出现不确定的次主峰；去除深度与PSD曲线峰值之间有近似的线性关系.采用磁流变作为亚表面损伤层的去除手段,元件的中频误差质量受加工参数影响很大.如果前级加工不佳导致留下的亚表面损伤层较深,用磁流变加工进行去除时会造成中频误差质量超过限定指标.
基于傳統拋光的亞錶麵損傷層厚度,進行磁流變去除亞錶麵損傷層的實驗以便驗證在該加工方式下對元件中頻誤差的影響.計算機模擬結果及實驗數據錶明:磁流變加工的走刀間距會引起中頻誤差評價指標PSD麯線齣現對應頻率的峰值;拋光斑的不穩定性會引起PSD麯線齣現不確定的次主峰；去除深度與PSD麯線峰值之間有近似的線性關繫.採用磁流變作為亞錶麵損傷層的去除手段,元件的中頻誤差質量受加工參數影響很大.如果前級加工不佳導緻留下的亞錶麵損傷層較深,用磁流變加工進行去除時會造成中頻誤差質量超過限定指標.
기우전통포광적아표면손상층후도,진행자류변거제아표면손상층적실험이편험증재해가공방식하대원건중빈오차적영향.계산궤모의결과급실험수거표명:자류변가공적주도간거회인기중빈오차평개지표PSD곡선출현대응빈솔적봉치;포광반적불은정성회인기PSD곡선출현불학정적차주봉；거제심도여PSD곡선봉치지간유근사적선성관계.채용자류변작위아표면손상층적거제수단,원건적중빈오차질량수가공삼수영향흔대.여과전급가공불가도치류하적아표면손상층교심,용자류변가공진행거제시회조성중빈오차질량초과한정지표.
