微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2003年
1期
40-43,56
,共5页
苟立%袁再芳%冉均国%张欣苑
茍立%袁再芳%冉均國%張訢苑
구립%원재방%염균국%장흔원
金刚石薄膜%表面粗糙度%微波等离子体%平整
金剛石薄膜%錶麵粗糙度%微波等離子體%平整
금강석박막%표면조조도%미파등리자체%평정
金刚石薄膜的表面平整是金刚石薄膜应用于光学、电学等领域的关键.采用氧气作气源,研究了微波等离子体工艺参数如微波功率、基台位置、氧气流量对平整金刚石薄膜效果的影响.处理后的样品用SEM、AFM观察表面形貌、测试了表面粗糙度.实验表明微波等离子体工艺参数对金刚石薄膜的表面平整效果有显著影响,并且这些参数是相互关联的.在适宜的条件下,金刚石薄膜的表面粗糙度明显降低,约为处理前的一半.该法可对金刚石薄膜进行原位处理,方便有效.
金剛石薄膜的錶麵平整是金剛石薄膜應用于光學、電學等領域的關鍵.採用氧氣作氣源,研究瞭微波等離子體工藝參數如微波功率、基檯位置、氧氣流量對平整金剛石薄膜效果的影響.處理後的樣品用SEM、AFM觀察錶麵形貌、測試瞭錶麵粗糙度.實驗錶明微波等離子體工藝參數對金剛石薄膜的錶麵平整效果有顯著影響,併且這些參數是相互關聯的.在適宜的條件下,金剛石薄膜的錶麵粗糙度明顯降低,約為處理前的一半.該法可對金剛石薄膜進行原位處理,方便有效.
금강석박막적표면평정시금강석박막응용우광학、전학등영역적관건.채용양기작기원,연구료미파등리자체공예삼수여미파공솔、기태위치、양기류량대평정금강석박막효과적영향.처리후적양품용SEM、AFM관찰표면형모、측시료표면조조도.실험표명미파등리자체공예삼수대금강석박막적표면평정효과유현저영향,병차저사삼수시상호관련적.재괄의적조건하,금강석박막적표면조조도명현강저,약위처리전적일반.해법가대금강석박막진행원위처리,방편유효.
