真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
5期
363-366,371
,共5页
徐禄祥%冷永祥%孙永春%龚发梅%张琦%杨萍%黄楠
徐祿祥%冷永祥%孫永春%龔髮梅%張琦%楊萍%黃楠
서록상%랭영상%손영춘%공발매%장기%양평%황남
类金刚石%耐磨性%脉冲真空弧源沉积%拉曼光谱%X射线光电子能谱
類金剛石%耐磨性%脈遲真空弧源沉積%拉曼光譜%X射線光電子能譜
류금강석%내마성%맥충진공호원침적%랍만광보%X사선광전자능보
本文利用脉冲真空弧源沉积技术在Cr17Ni14Cu4不锈钢和Si(100)基体上制备了类金刚石(DLC)薄膜,研究在不同基体偏压下,DLC薄膜的结构与性能.采用拉曼光谱和X射线光电子能谱(XPS)研究DLC薄膜的原子结合状态,利用CSEM销盘摩擦磨损试验机研究其耐磨性,利用HXD1000B显微硬度仪测试其显微硬度,并采用压痕法评价其结合力.研究结果表明:DLC薄膜与基体结合牢固.随着基体偏压的提高,DLC薄膜内sp3键含量增大,薄膜硬度提高.Cr17Ni14Cu4不锈钢表面沉积DLC薄膜后,耐磨性大幅度提高,本文探讨了DLC薄膜的耐磨机理.
本文利用脈遲真空弧源沉積技術在Cr17Ni14Cu4不鏽鋼和Si(100)基體上製備瞭類金剛石(DLC)薄膜,研究在不同基體偏壓下,DLC薄膜的結構與性能.採用拉曼光譜和X射線光電子能譜(XPS)研究DLC薄膜的原子結閤狀態,利用CSEM銷盤摩抆磨損試驗機研究其耐磨性,利用HXD1000B顯微硬度儀測試其顯微硬度,併採用壓痕法評價其結閤力.研究結果錶明:DLC薄膜與基體結閤牢固.隨著基體偏壓的提高,DLC薄膜內sp3鍵含量增大,薄膜硬度提高.Cr17Ni14Cu4不鏽鋼錶麵沉積DLC薄膜後,耐磨性大幅度提高,本文探討瞭DLC薄膜的耐磨機理.
본문이용맥충진공호원침적기술재Cr17Ni14Cu4불수강화Si(100)기체상제비료류금강석(DLC)박막,연구재불동기체편압하,DLC박막적결구여성능.채용랍만광보화X사선광전자능보(XPS)연구DLC박막적원자결합상태,이용CSEM소반마찰마손시험궤연구기내마성,이용HXD1000B현미경도의측시기현미경도,병채용압흔법평개기결합력.연구결과표명:DLC박막여기체결합뢰고.수착기체편압적제고,DLC박막내sp3건함량증대,박막경도제고.Cr17Ni14Cu4불수강표면침적DLC박막후,내마성대폭도제고,본문탐토료DLC박막적내마궤리.
