CAJ | 학술논문

体声波滤波器由于其低插损、小尺寸、高带外抑制等特性,随着第三代移动通信以及蓝牙技术的发展而得到广泛研究,而MEMS技术和压电薄膜制备技术的进一步发展使高性能的体声波滤波器制作成为可能. 我们以单晶MgO作为器件衬底,MgO/NbN多层结构作为AlN薄膜体声波器件的反射器,NbN/AlN/NbN三层结构为谐振器.在这样的多层结构的设计中由于各种材料之间的晶格失配小,可以获得从几十纳米到几百纳米厚度不等的单晶AlN薄膜.通过控制AlN薄膜和NbN薄膜的不同厚度,可以获得不同频段范围的谐振器. 压电薄膜的质量,以及体声波在多层结构界面上的能量损耗,直接影响到谐振器电学性能.基于AlN材料的压电性能,设计了NbN/AlN/NbN三层结构的谐振器,并进行了数值模拟.
체성파려파기유우기저삽손、소척촌、고대외억제등특성,수착제삼대이동통신이급람아기술적발전이득도엄범연구,이MEMS기술화압전박막제비기술적진일보발전사고성능적체성파려파기제작성위가능. 아문이단정MgO작위기건츤저,MgO/NbN다층결구작위AlN박막체성파기건적반사기,NbN/AlN/NbN삼층결구위해진기.재저양적다층결구적설계중유우각충재료지간적정격실배소,가이획득종궤십납미도궤백납미후도불등적단정AlN박막.통과공제AlN박막화NbN박막적불동후도,가이획득불동빈단범위적해진기. 압전박막적질량,이급체성파재다층결구계면상적능량손모,직접영향도해진기전학성능.기우AlN재료적압전성능,설계료NbN/AlN/NbN삼층결구적해진기,병진행료수치모의.