传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1319-1322
,共4页
闫子健%苑伟政%吕湘连%李俊%常洪龙
閆子健%苑偉政%呂湘連%李俊%常洪龍
염자건%원위정%려상련%리준%상홍룡
MEMS CAD%宏模型%物理级%Krylov子空间
MEMS CAD%宏模型%物理級%Krylov子空間
MEMS CAD%굉모형%물리급%Krylov자공간
基于Krylov子空间投影法结合有限元分析(FEA)建立了一种宏模型提取方法,以便能够在系统级快速地建立器件宏模型.这种方法通过对整个2D或3D器件有限元分析的结果提取宏模型.基于这种方法建立的宏模型具有计算代价低、精度合适的特点,而且能方便地插入到系统级仿真器进行仿真.文中通过一个谐振器结构阐释了这一方法,并且针对所建立的谐振器结构宏模型进行了精确性验证.
基于Krylov子空間投影法結閤有限元分析(FEA)建立瞭一種宏模型提取方法,以便能夠在繫統級快速地建立器件宏模型.這種方法通過對整箇2D或3D器件有限元分析的結果提取宏模型.基于這種方法建立的宏模型具有計算代價低、精度閤適的特點,而且能方便地插入到繫統級倣真器進行倣真.文中通過一箇諧振器結構闡釋瞭這一方法,併且針對所建立的諧振器結構宏模型進行瞭精確性驗證.
기우Krylov자공간투영법결합유한원분석(FEA)건립료일충굉모형제취방법,이편능구재계통급쾌속지건립기건굉모형.저충방법통과대정개2D혹3D기건유한원분석적결과제취굉모형.기우저충방법건립적굉모형구유계산대개저、정도합괄적특점,이차능방편지삽입도계통급방진기진행방진.문중통과일개해진기결구천석료저일방법,병차침대소건립적해진기결구굉모형진행료정학성험증.
