华中科技大学学报（自然科学版）
華中科技大學學報（自然科學版）
화중과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURE SCIENCE)
2006年
5期
53-55,67
,共4页
许淑慧%王敬义%冯信华%陈正强
許淑慧%王敬義%馮信華%陳正彊
허숙혜%왕경의%풍신화%진정강
离子刻蚀%等离子体纯化%阴极鞘层%硅粉粒
離子刻蝕%等離子體純化%陰極鞘層%硅粉粒
리자각식%등리자체순화%음겁초층%규분립
分析了粉粒在反应区的沉降过程,导出了沉降的最大速度及时间的公式,给出了离子在不同位置上的平均动能及粒子通量.还对高能中性粒子在鞘区内的行为进行了详细的分析并得出在不同位置上的平均动能和通量.它可用于计算空间不同位置处包括离子和高能中性粒子的刻蚀速率,计算结果表明高能中性粒子在很大的空间范围内其刻蚀作用大于离子.在阴极电压为2 300 V的情况下,一次沉降的最大刻蚀量可达50层原子、刻蚀速率1.1×1016/(cm2·s-1),这对粉粒在等离子体中的表面刻蚀和纯化都具有一定的意义.
分析瞭粉粒在反應區的沉降過程,導齣瞭沉降的最大速度及時間的公式,給齣瞭離子在不同位置上的平均動能及粒子通量.還對高能中性粒子在鞘區內的行為進行瞭詳細的分析併得齣在不同位置上的平均動能和通量.它可用于計算空間不同位置處包括離子和高能中性粒子的刻蝕速率,計算結果錶明高能中性粒子在很大的空間範圍內其刻蝕作用大于離子.在陰極電壓為2 300 V的情況下,一次沉降的最大刻蝕量可達50層原子、刻蝕速率1.1×1016/(cm2·s-1),這對粉粒在等離子體中的錶麵刻蝕和純化都具有一定的意義.
분석료분립재반응구적침강과정,도출료침강적최대속도급시간적공식,급출료리자재불동위치상적평균동능급입자통량.환대고능중성입자재초구내적행위진행료상세적분석병득출재불동위치상적평균동능화통량.타가용우계산공간불동위치처포괄리자화고능중성입자적각식속솔,계산결과표명고능중성입자재흔대적공간범위내기각식작용대우리자.재음겁전압위2 300 V적정황하,일차침강적최대각식량가체50층원자、각식속솔1.1×1016/(cm2·s-1),저대분립재등리자체중적표면각식화순화도구유일정적의의.
