电子科技大学学报
電子科技大學學報
전자과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2007年
5期
965-968
,共4页
傅里叶级数%空气阻尼%微加速度开关%微机电系统
傅裏葉級數%空氣阻尼%微加速度開關%微機電繫統
부리협급수%공기조니%미가속도개관%미궤전계통
针对微电子机械系统中平行板间的气膜阻尼问题,通过将平板沿垂直方向的位移运动方程展开为傅里叶级数,得到了微平面机构所受的空气阻尼力和阻尼系数的解析公式.结果表明,空气阻尼系数近似与两平板间气隙厚度的三次方成反比.通过对微加速度开关质量块工作时所受的空气阻尼进行仿真分析,得出该开关的阻尼系数在工作过程中为变阻尼的结论,并分析了空气阻尼系数对于开关性能的影响.
針對微電子機械繫統中平行闆間的氣膜阻尼問題,通過將平闆沿垂直方嚮的位移運動方程展開為傅裏葉級數,得到瞭微平麵機構所受的空氣阻尼力和阻尼繫數的解析公式.結果錶明,空氣阻尼繫數近似與兩平闆間氣隙厚度的三次方成反比.通過對微加速度開關質量塊工作時所受的空氣阻尼進行倣真分析,得齣該開關的阻尼繫數在工作過程中為變阻尼的結論,併分析瞭空氣阻尼繫數對于開關性能的影響.
침대미전자궤계계통중평행판간적기막조니문제,통과장평판연수직방향적위이운동방정전개위부리협급수,득도료미평면궤구소수적공기조니력화조니계수적해석공식.결과표명,공기조니계수근사여량평판간기극후도적삼차방성반비.통과대미가속도개관질량괴공작시소수적공기조니진행방진분석,득출해개관적조니계수재공작과정중위변조니적결론,병분석료공기조니계수대우개관성능적영향.
