CAJ | 학술논문

采用HFCVD系统,以CH4和H2为反应气体,分别在YG3、YG6、YG10、YG13硬质合金上沉积了金刚石薄膜,研究了化学脱钴处理对不同钴含量硬质合金沉积金刚石薄膜的影响.通过对105个样品的实验结果进行统计分析发现,YG3所得金刚石薄膜样品具有足够结合强度的比例为89%;而YG6、YG10 和YG13所得样品的相应值分别为24%、7%和0%.相反,YG3、YG6、YG10 和YG13所得金刚石薄膜严重破坏的比例分别为0%、64%、72%和79%.研究表明,化学腐蚀脱钴处理能够解决金刚石涂层形核率低的问题,但难以解决高钴硬质合金的附着性差的问题.
채용HFCVD계통,이CH4화H2위반응기체,분별재YG3、YG6、YG10、YG13경질합금상침적료금강석박막,연구료화학탈고처리대불동고함량경질합금침적금강석박막적영향.통과대105개양품적실험결과진행통계분석발현,YG3소득금강석박막양품구유족구결합강도적비례위89%;이YG6、YG10 화YG13소득양품적상응치분별위24%、7%화0%.상반,YG3、YG6、YG10 화YG13소득금강석박막엄중파배적비례분별위0%、64%、72%화79%.연구표명,화학부식탈고처리능구해결금강석도층형핵솔저적문제,단난이해결고고경질합금적부착성차적문제.