测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2008年
5期
377-386
,共10页
王晓东%杨洋%佘东生%王涛%王立鼎
王曉東%楊洋%佘東生%王濤%王立鼎
왕효동%양양%사동생%왕도%왕립정
微机电系统微构件%动态特性的测试%激励方法
微機電繫統微構件%動態特性的測試%激勵方法
미궤전계통미구건%동태특성적측시%격려방법
在微机电系统(MEMS)微构件动态特性的测试中,激励是基本环节,通过激励使微构件振动,并测量和分析振动响应信号,实现对微构件动态特性的测试.由于MEMS微构件的尺寸小、谐振频率较高,限制了传统的激励技术和方法在其动态特性测试中的应用.目前应用在MEMS微构件动态特性测试中的激励技术和方法,根据实现激励的方式不同,归纳为三类:利用外部场能的激励方法、内部集成激励元件的方法和基于底座激励的方法.具体介绍了声波激励、超声激励、静电激励、磁激励、电热激励、光热激励和压电激励等具体激励方式的原理及其特点,并对各种激励方法的特点进行了比较和分析.
在微機電繫統(MEMS)微構件動態特性的測試中,激勵是基本環節,通過激勵使微構件振動,併測量和分析振動響應信號,實現對微構件動態特性的測試.由于MEMS微構件的呎吋小、諧振頻率較高,限製瞭傳統的激勵技術和方法在其動態特性測試中的應用.目前應用在MEMS微構件動態特性測試中的激勵技術和方法,根據實現激勵的方式不同,歸納為三類:利用外部場能的激勵方法、內部集成激勵元件的方法和基于底座激勵的方法.具體介紹瞭聲波激勵、超聲激勵、靜電激勵、磁激勵、電熱激勵、光熱激勵和壓電激勵等具體激勵方式的原理及其特點,併對各種激勵方法的特點進行瞭比較和分析.
재미궤전계통(MEMS)미구건동태특성적측시중,격려시기본배절,통과격려사미구건진동,병측량화분석진동향응신호,실현대미구건동태특성적측시.유우MEMS미구건적척촌소、해진빈솔교고,한제료전통적격려기술화방법재기동태특성측시중적응용.목전응용재MEMS미구건동태특성측시중적격려기술화방법,근거실현격려적방식불동,귀납위삼류:이용외부장능적격려방법、내부집성격려원건적방법화기우저좌격려적방법.구체개소료성파격려、초성격려、정전격려、자격려、전열격려、광열격려화압전격려등구체격려방식적원리급기특점,병대각충격려방법적특점진행료비교화분석.
