光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2009年
6期
1473-1476
,共4页
康果果%谢敬辉%张浩%莫晓丽%杨晖%刘祎
康果果%謝敬輝%張浩%莫曉麗%楊暉%劉祎
강과과%사경휘%장호%막효려%양휘%류의
非球面检测%衍射光学元件%菲涅耳波带板
非毬麵檢測%衍射光學元件%菲涅耳波帶闆
비구면검측%연사광학원건%비열이파대판
在非球面检测中,为了消除衍射光学补偿器的位置偏差.在补偿器的外围设计、制作了位相型反射式菲涅耳波带板作为衍射光学校准器.利用微细加工手段,将补偿器和校准器整体集成在同一片基上.通过位相型反射式菲涅耳波带板的自校准功能,使其衍射光波与参考光波干涉,形成校准干涉条纹.测量时,调节校准干涉条纹成为最简单的形式,即可校正补偿器的离焦、偏心和倾斜误差,实现位置的精确校准.实验中,得到了近似零校准干涉条纹,有效地消除了补偿器的装调误差对测量的影响.
在非毬麵檢測中,為瞭消除衍射光學補償器的位置偏差.在補償器的外圍設計、製作瞭位相型反射式菲涅耳波帶闆作為衍射光學校準器.利用微細加工手段,將補償器和校準器整體集成在同一片基上.通過位相型反射式菲涅耳波帶闆的自校準功能,使其衍射光波與參攷光波榦涉,形成校準榦涉條紋.測量時,調節校準榦涉條紋成為最簡單的形式,即可校正補償器的離焦、偏心和傾斜誤差,實現位置的精確校準.實驗中,得到瞭近似零校準榦涉條紋,有效地消除瞭補償器的裝調誤差對測量的影響.
재비구면검측중,위료소제연사광학보상기적위치편차.재보상기적외위설계、제작료위상형반사식비열이파대판작위연사광학교준기.이용미세가공수단,장보상기화교준기정체집성재동일편기상.통과위상형반사식비열이파대판적자교준공능,사기연사광파여삼고광파간섭,형성교준간섭조문.측량시,조절교준간섭조문성위최간단적형식,즉가교정보상기적리초、편심화경사오차,실현위치적정학교준.실험중,득도료근사령교준간섭조문,유효지소제료보상기적장조오차대측량적영향.
