中国光学与应用光学
中國光學與應用光學
중국광학여응용광학
CHINESE JOURNAL OF OPTICS AND APPLIED OPTICS
2009年
6期
502-507
,共6页
岳巾英%刘华%许文斌%王泰升%卢振武
嶽巾英%劉華%許文斌%王泰升%盧振武
악건영%류화%허문빈%왕태승%로진무
光学设计%计算全息法%长焦透镜%光学面形检测
光學設計%計算全息法%長焦透鏡%光學麵形檢測
광학설계%계산전식법%장초투경%광학면형검측
为了同时对长焦透镜的面形和焦距进行高精度检测,提出在Zygo干涉仪的球面光路中加入一个二元衍射元件作为检测件的计算全息法.首先对计算全息法检测长焦透镜的面形和焦距进行了理论推导,并给出焦距误差公式.在Zemax中使用在平面基底上制作的二元衍射元件对一个长焦透镜的面形和焦距进行了模拟检测,其中对该长焦透镜而形的干涉检测PV值为0.003 4λ,对焦距的检测精度为-0.11%.最后详细分析了两类误差对检测结果的影响,其中光学元件的位置误差影响不超过0.1λ;二元衍射元件的制造误差影响约0.01λ,在具体制造过程中,其径向位置误差和台阶误差可分别在2μm和5 nm之内.在综合考虑各项误差的情况下,该方法的检测精度仍然可控制在2λ/25之内.
為瞭同時對長焦透鏡的麵形和焦距進行高精度檢測,提齣在Zygo榦涉儀的毬麵光路中加入一箇二元衍射元件作為檢測件的計算全息法.首先對計算全息法檢測長焦透鏡的麵形和焦距進行瞭理論推導,併給齣焦距誤差公式.在Zemax中使用在平麵基底上製作的二元衍射元件對一箇長焦透鏡的麵形和焦距進行瞭模擬檢測,其中對該長焦透鏡而形的榦涉檢測PV值為0.003 4λ,對焦距的檢測精度為-0.11%.最後詳細分析瞭兩類誤差對檢測結果的影響,其中光學元件的位置誤差影響不超過0.1λ;二元衍射元件的製造誤差影響約0.01λ,在具體製造過程中,其徑嚮位置誤差和檯階誤差可分彆在2μm和5 nm之內.在綜閤攷慮各項誤差的情況下,該方法的檢測精度仍然可控製在2λ/25之內.
위료동시대장초투경적면형화초거진행고정도검측,제출재Zygo간섭의적구면광로중가입일개이원연사원건작위검측건적계산전식법.수선대계산전식법검측장초투경적면형화초거진행료이론추도,병급출초거오차공식.재Zemax중사용재평면기저상제작적이원연사원건대일개장초투경적면형화초거진행료모의검측,기중대해장초투경이형적간섭검측PV치위0.003 4λ,대초거적검측정도위-0.11%.최후상세분석료량류오차대검측결과적영향,기중광학원건적위치오차영향불초과0.1λ;이원연사원건적제조오차영향약0.01λ,재구체제조과정중,기경향위치오차화태계오차가분별재2μm화5 nm지내.재종합고필각항오차적정황하,해방법적검측정도잉연가공제재2λ/25지내.
