真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2010年
6期
632-635
,共4页
王志永%朱志立%谷锦华%丁艳丽%卢景霄
王誌永%硃誌立%穀錦華%丁豔麗%盧景霄
왕지영%주지립%곡금화%정염려%로경소
蒙特卡洛模拟%微晶硅薄膜%椭偏谱仪%生长模式
矇特卡洛模擬%微晶硅薄膜%橢偏譜儀%生長模式
몽특잡락모의%미정규박막%타편보의%생장모식
采用标度理论比较了不同速率下微晶硅薄膜的生长模式.结果是:低速时薄膜的生长指数为0.19,高速时薄膜的生长指数为0.61,两者生长机理明显不同.通过蒙特卡洛模拟薄膜生长过程,结果表明:生长基元的粘附系数和扩散能力对不同生长速率下薄膜的生长有较大的影响.
採用標度理論比較瞭不同速率下微晶硅薄膜的生長模式.結果是:低速時薄膜的生長指數為0.19,高速時薄膜的生長指數為0.61,兩者生長機理明顯不同.通過矇特卡洛模擬薄膜生長過程,結果錶明:生長基元的粘附繫數和擴散能力對不同生長速率下薄膜的生長有較大的影響.
채용표도이론비교료불동속솔하미정규박막적생장모식.결과시:저속시박막적생장지수위0.19,고속시박막적생장지수위0.61,량자생장궤리명현불동.통과몽특잡락모의박막생장과정,결과표명:생장기원적점부계수화확산능력대불동생장속솔하박막적생장유교대적영향.
