太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2011年
8期
1186-1189
,共4页
魏其睿%王健%李德杰%殷志强
魏其睿%王健%李德傑%慇誌彊
위기예%왕건%리덕걸%은지강
太阳能选择性吸收涂层%空气高温热稳定性%钼%二氧化硅%磁控溅射
太暘能選擇性吸收塗層%空氣高溫熱穩定性%鉬%二氧化硅%磁控濺射
태양능선택성흡수도층%공기고온열은정성%목%이양화규%자공천사
采用磁控溅射的方法制作Mo-SiO2太阳能选择性吸收涂层,测量了涂层经过空气高温退火前后在0.34～25μm波长范围内反射曲线的变化情况.刚沉积完的涂层,太阳吸收比达到0.95,发射比为0.093.在空气中500、600℃退火1h后,涂层反射曲线基本不变.在空气中700℃退火1h后,涂层光谱选择性恶化,太阳吸收比下降到0.91,发射比上升到0.6.通过扫描电子显微镜观察了单层Mo、单层SiO2以及SiO2覆盖Mo的样片薄膜在空气中不同温度退火前后的形貌变化,发现以上薄膜表面不再平整,甚至出现裂纹和薄膜脱落,成为Mo-SiO2选择性吸收特性恶化的主要原因.
採用磁控濺射的方法製作Mo-SiO2太暘能選擇性吸收塗層,測量瞭塗層經過空氣高溫退火前後在0.34～25μm波長範圍內反射麯線的變化情況.剛沉積完的塗層,太暘吸收比達到0.95,髮射比為0.093.在空氣中500、600℃退火1h後,塗層反射麯線基本不變.在空氣中700℃退火1h後,塗層光譜選擇性噁化,太暘吸收比下降到0.91,髮射比上升到0.6.通過掃描電子顯微鏡觀察瞭單層Mo、單層SiO2以及SiO2覆蓋Mo的樣片薄膜在空氣中不同溫度退火前後的形貌變化,髮現以上薄膜錶麵不再平整,甚至齣現裂紋和薄膜脫落,成為Mo-SiO2選擇性吸收特性噁化的主要原因.
채용자공천사적방법제작Mo-SiO2태양능선택성흡수도층,측량료도층경과공기고온퇴화전후재0.34～25μm파장범위내반사곡선적변화정황.강침적완적도층,태양흡수비체도0.95,발사비위0.093.재공기중500、600℃퇴화1h후,도층반사곡선기본불변.재공기중700℃퇴화1h후,도층광보선택성악화,태양흡수비하강도0.91,발사비상승도0.6.통과소묘전자현미경관찰료단층Mo、단층SiO2이급SiO2복개Mo적양편박막재공기중불동온도퇴화전후적형모변화,발현이상박막표면불재평정,심지출현렬문화박막탈락,성위Mo-SiO2선택성흡수특성악화적주요원인.
