真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
5期
633-640
,共8页
真空%静电悬浮加速度计%噪声%辐射计效应%气体阻尼%出气效应
真空%靜電懸浮加速度計%譟聲%輻射計效應%氣體阻尼%齣氣效應
진공%정전현부가속도계%조성%복사계효응%기체조니%출기효응
从麦克斯韦速率分布函数和克努曾的“吸附层”假说出发,推导出静电悬浮加速度计核心部分因辐射计效应和残余气体平衡态阻尼引入的加速度热噪声表达式.指出辐射计效应是加速度计噪声的一个重要来源,气体阻尼的影响相对较小；加速度计长期保持优良的高真空是控制这两项噪声水平的必要措施；认为出气效应比辐射计效应大一到两个数量级是错误的.
從麥剋斯韋速率分佈函數和剋努曾的“吸附層”假說齣髮,推導齣靜電懸浮加速度計覈心部分因輻射計效應和殘餘氣體平衡態阻尼引入的加速度熱譟聲錶達式.指齣輻射計效應是加速度計譟聲的一箇重要來源,氣體阻尼的影響相對較小；加速度計長期保持優良的高真空是控製這兩項譟聲水平的必要措施；認為齣氣效應比輻射計效應大一到兩箇數量級是錯誤的.
종맥극사위속솔분포함수화극노증적“흡부층”가설출발,추도출정전현부가속도계핵심부분인복사계효응화잔여기체평형태조니인입적가속도열조성표체식.지출복사계효응시가속도계조성적일개중요래원,기체조니적영향상대교소；가속도계장기보지우량적고진공시공제저량항조성수평적필요조시；인위출기효응비복사계효응대일도량개수량급시착오적.
