材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2012年
3期
70-73
,共4页
李佳艳%郭素霞%谭毅%刘辰光
李佳豔%郭素霞%譚毅%劉辰光
리가염%곽소하%담의%류신광
多孔硅%电化学腐蚀%吸杂性能%电阻率
多孔硅%電化學腐蝕%吸雜性能%電阻率
다공규%전화학부식%흡잡성능%전조솔
多孔硅吸杂是减少晶体硅中杂质和缺陷,提高太阳能电池转换效率的有效方法.采用电化学腐蚀方法在单晶硅片上制备多孔硅,通过观察多孔硅的形貌、结构及单晶硅片的电阻率变化,研究不同电流密度制备的多孔硅对吸杂效果的影响,并从多孔硅的结构出发探究多孔硅吸杂的机理.结果表明,随电流密度增加,孔隙率明显增加,多孔硅在电流密度为100mA/cm2时,孔隙率最大;电流密度越大,多孔硅伴随所产生的弹性机械应力增加,晶格常数相应增加,这两个因素都有利于缺陷和金属杂质在多孔硅层-基底界面处迁移和富集,导致单晶硅吸杂后电阻率增大.
多孔硅吸雜是減少晶體硅中雜質和缺陷,提高太暘能電池轉換效率的有效方法.採用電化學腐蝕方法在單晶硅片上製備多孔硅,通過觀察多孔硅的形貌、結構及單晶硅片的電阻率變化,研究不同電流密度製備的多孔硅對吸雜效果的影響,併從多孔硅的結構齣髮探究多孔硅吸雜的機理.結果錶明,隨電流密度增加,孔隙率明顯增加,多孔硅在電流密度為100mA/cm2時,孔隙率最大;電流密度越大,多孔硅伴隨所產生的彈性機械應力增加,晶格常數相應增加,這兩箇因素都有利于缺陷和金屬雜質在多孔硅層-基底界麵處遷移和富集,導緻單晶硅吸雜後電阻率增大.
다공규흡잡시감소정체규중잡질화결함,제고태양능전지전환효솔적유효방법.채용전화학부식방법재단정규편상제비다공규,통과관찰다공규적형모、결구급단정규편적전조솔변화,연구불동전류밀도제비적다공규대흡잡효과적영향,병종다공규적결구출발탐구다공규흡잡적궤리.결과표명,수전류밀도증가,공극솔명현증가,다공규재전류밀도위100mA/cm2시,공극솔최대;전류밀도월대,다공규반수소산생적탄성궤계응력증가,정격상수상응증가,저량개인소도유리우결함화금속잡질재다공규층-기저계면처천이화부집,도치단정규흡잡후전조솔증대.
