中国工程科学
中國工程科學
중국공정과학
ENGINEERING SCIENCE
2000年
3期
36-41
,共6页
微电子机械系统%粘合力%摩擦力%抗粘合薄膜%耐磨损薄膜
微電子機械繫統%粘閤力%摩抆力%抗粘閤薄膜%耐磨損薄膜
미전자궤계계통%점합력%마찰력%항점합박막%내마손박막
文章评述了影响微电子机械系统(MEMS)成品率和可靠性的粘合力和摩擦力问题.在用氢氟酸(HF)腐蚀牺牲层、释放多晶Si微结构、干燥时,由于Si片表面薄层水的表面张力使两片亲水、间隙在微米量级的Si片粘合起来,称为"释放有关粘合".粘合也发生在封装后器件中,当输入信号过冲时,由于Si片表面的化学状态将Si片粘合起来,称为"使用中粘合".解决粘合的最好办法是:在MEMS微结构的表面涂以抗粘合薄膜,将成品器件在干燥气氛下封装.介绍了抗粘合薄膜的制备工艺和目前存在的问题.相比之下,具有高速运动的MEMS,其摩擦力问题更为复杂.应用抗粘合薄膜,解决了粘合,也降低了摩擦力,但摩擦依然存在.摩擦带来磨损,降低器件可靠性和寿命.寻找既抗粘合、又耐磨的薄膜,是解决高速运动MEMS可靠性和寿命的一个关键.
文章評述瞭影響微電子機械繫統(MEMS)成品率和可靠性的粘閤力和摩抆力問題.在用氫氟痠(HF)腐蝕犧牲層、釋放多晶Si微結構、榦燥時,由于Si片錶麵薄層水的錶麵張力使兩片親水、間隙在微米量級的Si片粘閤起來,稱為"釋放有關粘閤".粘閤也髮生在封裝後器件中,噹輸入信號過遲時,由于Si片錶麵的化學狀態將Si片粘閤起來,稱為"使用中粘閤".解決粘閤的最好辦法是:在MEMS微結構的錶麵塗以抗粘閤薄膜,將成品器件在榦燥氣氛下封裝.介紹瞭抗粘閤薄膜的製備工藝和目前存在的問題.相比之下,具有高速運動的MEMS,其摩抆力問題更為複雜.應用抗粘閤薄膜,解決瞭粘閤,也降低瞭摩抆力,但摩抆依然存在.摩抆帶來磨損,降低器件可靠性和壽命.尋找既抗粘閤、又耐磨的薄膜,是解決高速運動MEMS可靠性和壽命的一箇關鍵.
문장평술료영향미전자궤계계통(MEMS)성품솔화가고성적점합력화마찰력문제.재용경불산(HF)부식희생층、석방다정Si미결구、간조시,유우Si편표면박층수적표면장력사량편친수、간극재미미량급적Si편점합기래,칭위"석방유관점합".점합야발생재봉장후기건중,당수입신호과충시,유우Si편표면적화학상태장Si편점합기래,칭위"사용중점합".해결점합적최호판법시:재MEMS미결구적표면도이항점합박막,장성품기건재간조기분하봉장.개소료항점합박막적제비공예화목전존재적문제.상비지하,구유고속운동적MEMS,기마찰력문제경위복잡.응용항점합박막,해결료점합,야강저료마찰력,단마찰의연존재.마찰대래마손,강저기건가고성화수명.심조기항점합、우내마적박막,시해결고속운동MEMS가고성화수명적일개관건.
