稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2005年
10期
1597-1600
,共4页
马大衍%马胜利%徐可为%刘维民%S.Veprek
馬大衍%馬勝利%徐可為%劉維民%S.Veprek
마대연%마성리%서가위%류유민%S.Veprek
PCVD%Ti-B-N薄膜%硬度%耐磨性
PCVD%Ti-B-N薄膜%硬度%耐磨性
PCVD%Ti-B-N박막%경도%내마성
研究了射频等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术获得的Ti-B-N薄膜的组织结构和力学性能.结果发现,B元素的加入使薄膜中出现TiN纳米晶和BN非晶(nc-TiN/a-BN)的复合结构,其硬度显著高于TiN薄膜,最高可达40 GPa.用球盘式摩擦磨损实验考察了薄膜的磨损特性.结果表明:与TiN薄膜相比,Ti-B-N薄膜抗磨损性能有显著提高,磨损机制与TiN薄膜不同,摩擦系数较TiN稍高.
研究瞭射頻等離子體輔助化學氣相沉積(PCVD)技術穫得的Ti-B-N薄膜的組織結構和力學性能.結果髮現,B元素的加入使薄膜中齣現TiN納米晶和BN非晶(nc-TiN/a-BN)的複閤結構,其硬度顯著高于TiN薄膜,最高可達40 GPa.用毬盤式摩抆磨損實驗攷察瞭薄膜的磨損特性.結果錶明:與TiN薄膜相比,Ti-B-N薄膜抗磨損性能有顯著提高,磨損機製與TiN薄膜不同,摩抆繫數較TiN稍高.
연구료사빈등리자체보조화학기상침적(PCVD)기술획득적Ti-B-N박막적조직결구화역학성능.결과발현,B원소적가입사박막중출현TiN납미정화BN비정(nc-TiN/a-BN)적복합결구,기경도현저고우TiN박막,최고가체40 GPa.용구반식마찰마손실험고찰료박막적마손특성.결과표명:여TiN박막상비,Ti-B-N박막항마손성능유현저제고,마손궤제여TiN박막불동,마찰계수교TiN초고.
