广西工学院学报
廣西工學院學報
엄서공학원학보
JOURNAL OF GUANGXI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2006年
2期
1-4,8
,共5页
太阳能级硅%等离子体纯化%粉粒表面刻蚀%鞘区离子动能
太暘能級硅%等離子體純化%粉粒錶麵刻蝕%鞘區離子動能
태양능급규%등리자체순화%분립표면각식%초구리자동능
给出了本研究中所采用工业硅的要求和太阳电池功率高达14%的P型硅材料中单一杂质的阀值.针对太阳能级硅的纯化要求和工业硅的特性,提出了等离子体对硅粒"刻蚀提纯"的新概念.增加鞘层厚度将使硅粉浸泡于高动能离子中的几率增加,钝化效应消失从而达到提高纯化速率的目的.所研制的新型纯化系统能够满足硅粒自旋、长沉降时间和重复纯化的条件,所给出的工艺参数能满足鞘层宽、离子浓度高的要求.实验结果显示这种新的提纯方法可望用于太阳能级硅的制备.
給齣瞭本研究中所採用工業硅的要求和太暘電池功率高達14%的P型硅材料中單一雜質的閥值.針對太暘能級硅的純化要求和工業硅的特性,提齣瞭等離子體對硅粒"刻蝕提純"的新概唸.增加鞘層厚度將使硅粉浸泡于高動能離子中的幾率增加,鈍化效應消失從而達到提高純化速率的目的.所研製的新型純化繫統能夠滿足硅粒自鏇、長沉降時間和重複純化的條件,所給齣的工藝參數能滿足鞘層寬、離子濃度高的要求.實驗結果顯示這種新的提純方法可望用于太暘能級硅的製備.
급출료본연구중소채용공업규적요구화태양전지공솔고체14%적P형규재료중단일잡질적벌치.침대태양능급규적순화요구화공업규적특성,제출료등리자체대규립"각식제순"적신개념.증가초층후도장사규분침포우고동능리자중적궤솔증가,둔화효응소실종이체도제고순화속솔적목적.소연제적신형순화계통능구만족규립자선、장침강시간화중복순화적조건,소급출적공예삼수능만족초층관、리자농도고적요구.실험결과현시저충신적제순방법가망용우태양능급규적제비.
