传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2007年
12期
2558-2562
,共5页
李隆玉%肖顺华%董永芬%冯春岳%姜卫粉%李新建
李隆玉%肖順華%董永芬%馮春嶽%薑衛粉%李新建
리륭옥%초순화%동영분%풍춘악%강위분%리신건
湿度传感器%硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)%BaTiO3%饱和盐水溶液
濕度傳感器%硅納米孔柱陣列(Si-NPA)%BaTiO3%飽和鹽水溶液
습도전감기%규납미공주진렬(Si-NPA)%BaTiO3%포화염수용액
采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO3薄膜(BaTiO3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明,钙钛矿结构BaTiO3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极,制作了电容型BaTiO3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能进行了测试.结果表明,室温下湿敏元件在11%～95%RH范围内具有很高的灵敏度和较快的响应速度,且电容值的对数对湿度呈现出很好的线性.虽然该薄膜湿敏元件在不同湿度下均存在温度漂移,但分析表明这种漂移有可能通过电极设计或信号补偿加以解决.
採用溶膠-凝膠和鏇塗技術製備瞭基于Si-NPA的BaTiO3薄膜(BaTiO3/Si-NPA).場髮射掃描電鏡和X射線衍射實驗錶明,鈣鈦礦結構BaTiO3薄膜很好地覆蓋瞭Si-NPA錶麵.通過蒸鍍雙麵梳狀電極,製作瞭電容型BaTiO3/Si-NPA濕敏元件併對其濕敏性能進行瞭測試.結果錶明,室溫下濕敏元件在11%～95%RH範圍內具有很高的靈敏度和較快的響應速度,且電容值的對數對濕度呈現齣很好的線性.雖然該薄膜濕敏元件在不同濕度下均存在溫度漂移,但分析錶明這種漂移有可能通過電極設計或信號補償加以解決.
채용용효-응효화선도기술제비료기우Si-NPA적BaTiO3박막(BaTiO3/Si-NPA).장발사소묘전경화X사선연사실험표명,개태광결구BaTiO3박막흔호지복개료Si-NPA표면.통과증도쌍면소상전겁,제작료전용형BaTiO3/Si-NPA습민원건병대기습민성능진행료측시.결과표명,실온하습민원건재11%～95%RH범위내구유흔고적령민도화교쾌적향응속도,차전용치적대수대습도정현출흔호적선성.수연해박막습민원건재불동습도하균존재온도표이,단분석표명저충표이유가능통과전겁설계혹신호보상가이해결.
