激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2009年
2期
197-200
,共4页
系统模型%系统辨识%温度控制器%前馈控制%反馈控制
繫統模型%繫統辨識%溫度控製器%前饋控製%反饋控製
계통모형%계통변식%온도공제기%전궤공제%반궤공제
提出了一种基于系统模型的快速退火炉温度控制方法.首先采用分段线性化方法和系统辨识方法获得精确的快速退火炉系统模型;然后将该系统模型作为温度控制器的前馈控制,用来提前预测控制输出,提高系统的响应速度,并在此基础上增加反馈控制通道,用来修正模型误差和外界干扰.最后,将此温度控制器应用在我们自主研发的快速退火炉系统上,实验验证了此温度控制器的有效性.
提齣瞭一種基于繫統模型的快速退火爐溫度控製方法.首先採用分段線性化方法和繫統辨識方法穫得精確的快速退火爐繫統模型;然後將該繫統模型作為溫度控製器的前饋控製,用來提前預測控製輸齣,提高繫統的響應速度,併在此基礎上增加反饋控製通道,用來脩正模型誤差和外界榦擾.最後,將此溫度控製器應用在我們自主研髮的快速退火爐繫統上,實驗驗證瞭此溫度控製器的有效性.
제출료일충기우계통모형적쾌속퇴화로온도공제방법.수선채용분단선성화방법화계통변식방법획득정학적쾌속퇴화로계통모형;연후장해계통모형작위온도공제기적전궤공제,용래제전예측공제수출,제고계통적향응속도,병재차기출상증가반궤공제통도,용래수정모형오차화외계간우.최후,장차온도공제기응용재아문자주연발적쾌속퇴화로계통상,실험험증료차온도공제기적유효성.
