西安工业大学学报
西安工業大學學報
서안공업대학학보
JOURNAL OF XI'AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
2010年
2期
103-107
,共5页
干涉图处理%闭合条纹%坐标变换%条纹中心
榦涉圖處理%閉閤條紋%坐標變換%條紋中心
간섭도처리%폐합조문%좌표변환%조문중심
为了实现对闭合干涉条纹的处理,采用线性插值的原理,将笛卡尔直角坐标系下的闭合条纹转换到极坐标系下,利用二值化、细化算法提取条纹几何中心点的位置,经逆变换映射回原直角坐标系,分析得到与之对应的相位值.对实际采集的干涉条纹进行处理,得到PV值为0.403 6 λ,RMS值为0.062 43 λ.与Taylor Hobson轮廓仪对同一被测面的检测结果比较,PV和RMS值的偏差分别为3.7%和1.4%.
為瞭實現對閉閤榦涉條紋的處理,採用線性插值的原理,將笛卡爾直角坐標繫下的閉閤條紋轉換到極坐標繫下,利用二值化、細化算法提取條紋幾何中心點的位置,經逆變換映射迴原直角坐標繫,分析得到與之對應的相位值.對實際採集的榦涉條紋進行處理,得到PV值為0.403 6 λ,RMS值為0.062 43 λ.與Taylor Hobson輪廓儀對同一被測麵的檢測結果比較,PV和RMS值的偏差分彆為3.7%和1.4%.
위료실현대폐합간섭조문적처리,채용선성삽치적원리,장적잡이직각좌표계하적폐합조문전환도겁좌표계하,이용이치화、세화산법제취조문궤하중심점적위치,경역변환영사회원직각좌표계,분석득도여지대응적상위치.대실제채집적간섭조문진행처리,득도PV치위0.403 6 λ,RMS치위0.062 43 λ.여Taylor Hobson륜곽의대동일피측면적검측결과비교,PV화RMS치적편차분별위3.7%화1.4%.
