电子科学学刊
電子科學學刊
전자과학학간
JOURNAL OF ELECTRONICS
2000年
4期
659-666
,共8页
姜晓鸿%赵天绪%郝跃%徐国华
薑曉鴻%趙天緒%郝躍%徐國華
강효홍%조천서%학약%서국화
IC缺陷%分形插值%IC故障%IC成品率%等效圆形缺陷
IC缺陷%分形插值%IC故障%IC成品率%等效圓形缺陷
IC결함%분형삽치%IC고장%IC성품솔%등효원형결함
现用于集成电路(IC)成品率预报及故障分析的缺陷模型均是用圆或正方形来代替真实缺陷的复杂轮廓进行近似建模的,从而在模型中引入了很大的误差.本文利用分形插值的思想直接对真实缺陷的轮廓进行模拟,从而提出了一种新的缺陷轮廓表征模型.实验结果表明:与传统的最大圆模型、最小圆模型及椭圆模型相比,新模型的建模精度有了很大的提高.
現用于集成電路(IC)成品率預報及故障分析的缺陷模型均是用圓或正方形來代替真實缺陷的複雜輪廓進行近似建模的,從而在模型中引入瞭很大的誤差.本文利用分形插值的思想直接對真實缺陷的輪廓進行模擬,從而提齣瞭一種新的缺陷輪廓錶徵模型.實驗結果錶明:與傳統的最大圓模型、最小圓模型及橢圓模型相比,新模型的建模精度有瞭很大的提高.
현용우집성전로(IC)성품솔예보급고장분석적결함모형균시용원혹정방형래대체진실결함적복잡륜곽진행근사건모적,종이재모형중인입료흔대적오차.본문이용분형삽치적사상직접대진실결함적륜곽진행모의,종이제출료일충신적결함륜곽표정모형.실험결과표명:여전통적최대원모형、최소원모형급타원모형상비,신모형적건모정도유료흔대적제고.
