光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2000年
4期
1-6
,共6页
曾红军%陈波%郭履容%杜春雷%邱传凯%王永茹%潘丽
曾紅軍%陳波%郭履容%杜春雷%邱傳凱%王永茹%潘麗
증홍군%진파%곽리용%두춘뢰%구전개%왕영여%반려
微光学元件%蚀刻%连续深浮雕
微光學元件%蝕刻%連續深浮彫
미광학원건%식각%련속심부조
Micro-optical elements%Etching%Deep continuous relief
提出一种连续深浮雕微光学元件的制作方法.在移动掩模的基础上经湿法显影获得光刻胶元件良好的面形,然后结合干法刻蚀将图形通过蚀速比放大的办法精密传递到石英片基上,从而使最终的元件达到设计的浮雕深度.作者对整个过程进行了考察和讨论,并以微棱镜为例进行了实验验证,为进一步制作大数值孔径连续表面微光学元件打下了技术基础.
提齣一種連續深浮彫微光學元件的製作方法.在移動掩模的基礎上經濕法顯影穫得光刻膠元件良好的麵形,然後結閤榦法刻蝕將圖形通過蝕速比放大的辦法精密傳遞到石英片基上,從而使最終的元件達到設計的浮彫深度.作者對整箇過程進行瞭攷察和討論,併以微稜鏡為例進行瞭實驗驗證,為進一步製作大數值孔徑連續錶麵微光學元件打下瞭技術基礎.
제출일충련속심부조미광학원건적제작방법.재이동엄모적기출상경습법현영획득광각효원건량호적면형,연후결합간법각식장도형통과식속비방대적판법정밀전체도석영편기상,종이사최종적원건체도설계적부조심도.작자대정개과정진행료고찰화토론,병이미릉경위례진행료실험험증,위진일보제작대수치공경련속표면미광학원건타하료기술기출.
In this paper, a new method for making deep continuous relief micro-optic elements by combining wet etching with dry etching in a whole process of fabrication is presented. As an experimental verification and application of this method, the course and result of the fabrication of micro-prism array is provided herein, and some phenomena in the process are discussed.
