兵器材料科学与工程
兵器材料科學與工程
병기재료과학여공정
Ordnance Material Science and Engineering
2010年
4期
76-78
,共3页
铜钨薄膜%离子束溅射%Ar+能量%束流%晶粒度
銅鎢薄膜%離子束濺射%Ar+能量%束流%晶粒度
동오박막%리자속천사%Ar+능량%속류%정립도
研究双离子束溅射组装铜钨复合膜Ar+能量及束流对膜影响.用XRD分析溅射沉积后的薄膜结构.实验结果表明,随靶Ar+能量和束流增加,铜钨膜向晶态化转变.铜钨复合膜的沉积速率主要由钨靶Ar+束流决定,并且增加气压会使复合膜晶粒尺寸变小,固溶进钨的铜原子也会相应减少.
研究雙離子束濺射組裝銅鎢複閤膜Ar+能量及束流對膜影響.用XRD分析濺射沉積後的薄膜結構.實驗結果錶明,隨靶Ar+能量和束流增加,銅鎢膜嚮晶態化轉變.銅鎢複閤膜的沉積速率主要由鎢靶Ar+束流決定,併且增加氣壓會使複閤膜晶粒呎吋變小,固溶進鎢的銅原子也會相應減少.
연구쌍리자속천사조장동오복합막Ar+능량급속류대막영향.용XRD분석천사침적후적박막결구.실험결과표명,수파Ar+능량화속류증가,동오막향정태화전변.동오복합막적침적속솔주요유오파Ar+속류결정,병차증가기압회사복합막정립척촌변소,고용진오적동원자야회상응감소.
