多层金属/介质膜系中Al层的作用分析
다층금속/개질막계중Al층적작용분석
Role of Al layer in metallic-dielectric multiplayer
  • 万方数据
    光学精密工程 광학정밀공정
    OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
    2004年 1期 122-125 ,共4页

    魏军明%吴永刚%顾牡%顾春时%马晓辉%王利%林小燕%陈玲燕

    위군명%오영강%고모%고춘시%마효휘%왕리%림소연%진령연

    多层膜%金属薄膜%介质薄膜%BaF2闪烁晶体%Al 多層膜%金屬薄膜%介質薄膜%BaF2閃爍晶體%Al
    다층막%금속박막%개질박막%BaF2섬삭정체%Al
    设计了一维金属/介质多层膜系,膜系由几个周期的高折射率(Al2O3)/低折射率(MgF2)材料所组成.在低折射率材料中插入金属层(Al),对膜系进行了优化,利用电子束蒸发方法制备了该膜系.实验表明,不仅Al层的总厚度直接影响透射谱的形状,在同样Al层总厚度情况下,Al层厚度分布对膜系也有影响.寻找到了最佳Al层分布结果,并通过了实验验证,制备出了能很好抑止BaF2晶体发射光谱的长波成分的膜系.
    설계료일유금속/개질다층막계,막계유궤개주기적고절사솔(Al2O3)/저절사솔(MgF2)재료소조성.재저절사솔재료중삽입금속층(Al),대막계진행료우화,이용전자속증발방법제비료해막계.실험표명,불부Al층적총후도직접영향투사보적형상,재동양Al층총후도정황하,Al층후도분포대막계야유영향.심조도료최가Al층분포결과,병통과료실험험증,제비출료능흔호억지BaF2정체발사광보적장파성분적막계.
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