功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2004年
2期
273-278
,共6页
王晓峰%黄如%傅云义%张兴
王曉峰%黃如%傅雲義%張興
왕효봉%황여%부운의%장흥
碳纳米管%场效应%晶体管%集成%掺杂
碳納米管%場效應%晶體管%集成%摻雜
탄납미관%장효응%정체관%집성%참잡
基于碳纳米管的场效应晶体管是目前研究的热点,是所有分子电子学器件中最有可能取代MOSFET,并维持摩尔定律的器件.本文对其基本原理、发展状况和重要性进行了简述,着重介绍了目前常用的撒落法和催化剂定位方法制备碳纳米管场效应管的工艺流程以及结果,并介绍了碳纳米管的掺杂以及相关集成的研究进展.
基于碳納米管的場效應晶體管是目前研究的熱點,是所有分子電子學器件中最有可能取代MOSFET,併維持摩爾定律的器件.本文對其基本原理、髮展狀況和重要性進行瞭簡述,著重介紹瞭目前常用的撒落法和催化劑定位方法製備碳納米管場效應管的工藝流程以及結果,併介紹瞭碳納米管的摻雜以及相關集成的研究進展.
기우탄납미관적장효응정체관시목전연구적열점,시소유분자전자학기건중최유가능취대MOSFET,병유지마이정률적기건.본문대기기본원리、발전상황화중요성진행료간술,착중개소료목전상용적살락법화최화제정위방법제비탄납미관장효응관적공예류정이급결과,병개소료탄납미관적참잡이급상관집성적연구진전.
