光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2009年
7期
1877-1880
,共4页
薛晖%沈伟东%顾培夫%罗震岳%刘旭%章岳光
薛暉%瀋偉東%顧培伕%囉震嶽%劉旭%章嶽光
설휘%침위동%고배부%라진악%류욱%장악광
白光干涉%测量薄膜物理厚度%等效厚度%频域分析
白光榦涉%測量薄膜物理厚度%等效厚度%頻域分析
백광간섭%측량박막물리후도%등효후도%빈역분석
设计了一套利用白光干涉理论测量薄膜厚度的系统,主要包括迈克耳孙白光于涉系统和光纤光谱仪.对干涉信号进行频域分析,结合拟合测试与理论能量曲线的方法并选择合适的目标函数,进一步精确反演得到待测薄膜样品的物理厚度,使用上述方法对多组不同厚度的薄膜样品进行计算,并对结果进行了详细的精度及误差分析.将本实验装置测试所得到的数据与传统的光度法相比较,结果表明使用该测试方法测量光学薄膜物理厚度的误差可以小于1 nm.与传统的光度法和椭偏法相比,提供了一种测量光学薄膜厚度的较为简单、快速的解决方案,同时保证了较高的精度.
設計瞭一套利用白光榦涉理論測量薄膜厚度的繫統,主要包括邁剋耳孫白光于涉繫統和光纖光譜儀.對榦涉信號進行頻域分析,結閤擬閤測試與理論能量麯線的方法併選擇閤適的目標函數,進一步精確反縯得到待測薄膜樣品的物理厚度,使用上述方法對多組不同厚度的薄膜樣品進行計算,併對結果進行瞭詳細的精度及誤差分析.將本實驗裝置測試所得到的數據與傳統的光度法相比較,結果錶明使用該測試方法測量光學薄膜物理厚度的誤差可以小于1 nm.與傳統的光度法和橢偏法相比,提供瞭一種測量光學薄膜厚度的較為簡單、快速的解決方案,同時保證瞭較高的精度.
설계료일투이용백광간섭이론측량박막후도적계통,주요포괄매극이손백광우섭계통화광섬광보의.대간섭신호진행빈역분석,결합의합측시여이론능량곡선적방법병선택합괄적목표함수,진일보정학반연득도대측박막양품적물리후도,사용상술방법대다조불동후도적박막양품진행계산,병대결과진행료상세적정도급오차분석.장본실험장치측시소득도적수거여전통적광도법상비교,결과표명사용해측시방법측량광학박막물리후도적오차가이소우1 nm.여전통적광도법화타편법상비,제공료일충측량광학박막후도적교위간단、쾌속적해결방안,동시보증료교고적정도.
