飞秒激光对半导体材料及器件烧蚀效应研究进展
비초격광대반도체재료급기건소식효응연구진전
Research Progress of Semiconductor and Electrophotonic Detector Ablation by Femtosecond Laser
  • 万方数据
    激光与光电子学进展 격광여광전자학진전
    LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS
    2009年 10期 64-70 ,共7页

    辛建婷%刘国栋

    신건정%류국동

    飞秒激光%半导体材料%烧蚀 飛秒激光%半導體材料%燒蝕
    비초격광%반도체재료%소식
    简要评述了国内外关于飞秒激光烧蚀半导体材料的理论研究、数值模拟和实验研究进展,报道了飞秒激光对几类光电探测器件损伤阈值的研究结果.
    간요평술료국내외관우비초격광소식반도체재료적이론연구、수치모의화실험연구진전,보도료비초격광대궤류광전탐측기건손상역치적연구결과.
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