表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2010年
3期
74-77
,共4页
吕小莉%冯长杰%钟小荣%万小欢%杜楠
呂小莉%馮長傑%鐘小榮%萬小歡%杜楠
려소리%풍장걸%종소영%만소환%두남
水平震荡%机械研磨%电沉积%镀铜%镀层结构
水平震盪%機械研磨%電沉積%鍍銅%鍍層結構
수평진탕%궤계연마%전침적%도동%도층결구
在传统酸性镀铜液中加入玻璃球,利用SEM和XRD考察了玻璃球数量与震荡频率对机械研磨电镀工艺的影响,并探讨了水平震荡频率和玻璃球数量对镀层微观结构的影响机理.实验结果表明:固定玻璃球数量为80个,震荡频率为2.5～4.2 Hz时,所得镀层的晶粒尺寸随着震荡频率的增加而显著降低;固定水平震荡频率为4.2 Hz,玻璃球数量为40～120个时,随着玻璃球数量的增加,所得镀层的晶粒尺寸先降低后略有增大,但仍明显小于传统镀层;水平震荡机械研磨电镀铜层具有(111)择优取向,但择优取向程度受水平震荡条件影响.
在傳統痠性鍍銅液中加入玻璃毬,利用SEM和XRD攷察瞭玻璃毬數量與震盪頻率對機械研磨電鍍工藝的影響,併探討瞭水平震盪頻率和玻璃毬數量對鍍層微觀結構的影響機理.實驗結果錶明:固定玻璃毬數量為80箇,震盪頻率為2.5～4.2 Hz時,所得鍍層的晶粒呎吋隨著震盪頻率的增加而顯著降低;固定水平震盪頻率為4.2 Hz,玻璃毬數量為40～120箇時,隨著玻璃毬數量的增加,所得鍍層的晶粒呎吋先降低後略有增大,但仍明顯小于傳統鍍層;水平震盪機械研磨電鍍銅層具有(111)擇優取嚮,但擇優取嚮程度受水平震盪條件影響.
재전통산성도동액중가입파리구,이용SEM화XRD고찰료파리구수량여진탕빈솔대궤계연마전도공예적영향,병탐토료수평진탕빈솔화파리구수량대도층미관결구적영향궤리.실험결과표명:고정파리구수량위80개,진탕빈솔위2.5～4.2 Hz시,소득도층적정립척촌수착진탕빈솔적증가이현저강저;고정수평진탕빈솔위4.2 Hz,파리구수량위40～120개시,수착파리구수량적증가,소득도층적정립척촌선강저후략유증대,단잉명현소우전통도층;수평진탕궤계연마전도동층구유(111)택우취향,단택우취향정도수수평진탕조건영향.
