化学通报
化學通報
화학통보
CHINESE CHEMICAL SOCIETY
2003年
7期
474-478
,共5页
化学增幅%抗蚀剂%光产酸源%酸增殖剂
化學增幅%抗蝕劑%光產痠源%痠增殖劑
화학증폭%항식제%광산산원%산증식제
对化学增幅抗蚀剂体系的组成及化学增幅作用做了阐述.介绍了化学增幅作用中的关键组分--光产酸源和酸增殖剂的发展概况,并对重氮盐、(金翁)盐、有机多卤化物、磺酸酯类化合物等产酸源的产酸机理、适用光源分别进行了阐述.从目前国际发展的趋势来看, 硫(金翁)盐和磺酸酯类的光产酸源占据主要地位,有机多卤化物中的三嗪化合物还有少量应用.(口频)哪醇单磺酸酯类化合物作为酸增殖剂使用较为普遍.
對化學增幅抗蝕劑體繫的組成及化學增幅作用做瞭闡述.介紹瞭化學增幅作用中的關鍵組分--光產痠源和痠增殖劑的髮展概況,併對重氮鹽、(金翁)鹽、有機多滷化物、磺痠酯類化閤物等產痠源的產痠機理、適用光源分彆進行瞭闡述.從目前國際髮展的趨勢來看, 硫(金翁)鹽和磺痠酯類的光產痠源佔據主要地位,有機多滷化物中的三嗪化閤物還有少量應用.(口頻)哪醇單磺痠酯類化閤物作為痠增殖劑使用較為普遍.
대화학증폭항식제체계적조성급화학증폭작용주료천술.개소료화학증폭작용중적관건조분--광산산원화산증식제적발전개황,병대중담염、(금옹)염、유궤다서화물、광산지류화합물등산산원적산산궤리、괄용광원분별진행료천술.종목전국제발전적추세래간, 류(금옹)염화광산지류적광산산원점거주요지위,유궤다서화물중적삼진화합물환유소량응용.(구빈)나순단광산지류화합물작위산증식제사용교위보편.
