用于高灵敏度红外探测器的超薄硅膜的研制
용우고령민도홍외탐측기적초박규막적연제
Fabrication and research of very thin Si membrane for the high sensitivity infrared detector
  • 万方数据
    红外与激光工程 홍외여격광공정
    INFRARED AND LASER ENGINEERING
    2005年 1期 23-26 ,共4页

    董典红%徐晨%邹德恕%李兰%杨道虹%张剑铭%阳启明%沈光地

    동전홍%서신%추덕서%리란%양도홍%장검명%양계명%침광지

    超薄硅膜%各向异性腐蚀%高灵敏度红外探测器 超薄硅膜%各嚮異性腐蝕%高靈敏度紅外探測器
    초박규막%각향이성부식%고령민도홍외탐측기
    超薄、平整的硅膜对于制作高灵敏度红外探测器是非常重要的.这种超薄硅膜的各向异性腐蚀技术,包括有机溶液EPW和无机溶液KOH及KOH+IPA(异丙醇).从腐蚀速率、腐蚀表面质量、腐蚀停特性、腐蚀边缘形貌及腐蚀工艺的角度分析比较了两种腐蚀系统,分别制作出了约1μm厚的平整超薄硅膜,并研究了不同掩膜材料在腐蚀液中的抗蚀性,为高灵敏度红外探测器的制作奠定了工艺基础.
    초박、평정적규막대우제작고령민도홍외탐측기시비상중요적.저충초박규막적각향이성부식기술,포괄유궤용액EPW화무궤용액KOH급KOH+IPA(이병순).종부식속솔、부식표면질량、부식정특성、부식변연형모급부식공예적각도분석비교료량충부식계통,분별제작출료약1μm후적평정초박규막,병연구료불동엄막재료재부식액중적항식성,위고령민도홍외탐측기적제작전정료공예기출.
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