光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2006年
6期
919-923
,共5页
移相干涉术%虚光栅叠栅条纹法%PZT移相器
移相榦涉術%虛光柵疊柵條紋法%PZT移相器
이상간섭술%허광책첩책조문법%PZT이상기
以压电陶瓷(PZT)微位移器为主要研究对象, 引入一种处理静态干涉图的新方法--虚光栅移相叠栅条纹法,设计实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究,对其引起的波面旋转情况进行了定量的计算分析,并给出测试结果.用虚光栅移相叠栅条纹法处理实验中加有载频的干涉图时,不需要使用任何移相器件,可以进行动态位相的检测,整个移相过程用计算机进行控制,避免了引入额外的移相误差.
以壓電陶瓷(PZT)微位移器為主要研究對象, 引入一種處理靜態榦涉圖的新方法--虛光柵移相疊柵條紋法,設計實驗對一檯實際使用的移相器微位移鏇轉誤差進行測試研究,對其引起的波麵鏇轉情況進行瞭定量的計算分析,併給齣測試結果.用虛光柵移相疊柵條紋法處理實驗中加有載頻的榦涉圖時,不需要使用任何移相器件,可以進行動態位相的檢測,整箇移相過程用計算機進行控製,避免瞭引入額外的移相誤差.
이압전도자(PZT)미위이기위주요연구대상, 인입일충처리정태간섭도적신방법--허광책이상첩책조문법,설계실험대일태실제사용적이상기미위이선전오차진행측시연구,대기인기적파면선전정황진행료정량적계산분석,병급출측시결과.용허광책이상첩책조문법처리실험중가유재빈적간섭도시,불수요사용임하이상기건,가이진행동태위상적검측,정개이상과정용계산궤진행공제,피면료인입액외적이상오차.