光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2006年
10期
1542-1546
,共5页
范平%邵建达%易葵%齐红基%范正修
範平%邵建達%易葵%齊紅基%範正脩
범평%소건체%역규%제홍기%범정수
薄膜物理学%光学特性%尺寸效应%Cu膜%最小连续膜厚
薄膜物理學%光學特性%呎吋效應%Cu膜%最小連續膜厚
박막물이학%광학특성%척촌효응%Cu막%최소련속막후
采用离子束溅射在K9玻璃基底上沉积了不同厚度的Cu膜,利用Lambda-900分光光度计,测量了波长为310 nm到1300 nm范围内Cu膜的反射率和透射率.选定波长为310、350、400、430、550、632、800、1200 nm时对薄膜的反射率、透射率和吸收率随膜厚变化的关系进行研究.同时,对Cu膜的光学常量也进行了讨论.结果显示,Cu膜的光学特性都有明显的尺寸效应.将波长为550 nm时的反射率和透射率随Cu膜厚度变化关系的交点对应厚度作为特征厚度, 该厚度可认为是金属Cu膜生长从不连续膜进入连续膜的最小连续膜厚.根据这一特征判据,离子束溅射沉积Cu膜样品的最小连续膜厚为33 nm.利用原子力显微镜观测了膜厚在特征厚度附近时Cu膜的表面形貌.
採用離子束濺射在K9玻璃基底上沉積瞭不同厚度的Cu膜,利用Lambda-900分光光度計,測量瞭波長為310 nm到1300 nm範圍內Cu膜的反射率和透射率.選定波長為310、350、400、430、550、632、800、1200 nm時對薄膜的反射率、透射率和吸收率隨膜厚變化的關繫進行研究.同時,對Cu膜的光學常量也進行瞭討論.結果顯示,Cu膜的光學特性都有明顯的呎吋效應.將波長為550 nm時的反射率和透射率隨Cu膜厚度變化關繫的交點對應厚度作為特徵厚度, 該厚度可認為是金屬Cu膜生長從不連續膜進入連續膜的最小連續膜厚.根據這一特徵判據,離子束濺射沉積Cu膜樣品的最小連續膜厚為33 nm.利用原子力顯微鏡觀測瞭膜厚在特徵厚度附近時Cu膜的錶麵形貌.
채용리자속천사재K9파리기저상침적료불동후도적Cu막,이용Lambda-900분광광도계,측량료파장위310 nm도1300 nm범위내Cu막적반사솔화투사솔.선정파장위310、350、400、430、550、632、800、1200 nm시대박막적반사솔、투사솔화흡수솔수막후변화적관계진행연구.동시,대Cu막적광학상량야진행료토론.결과현시,Cu막적광학특성도유명현적척촌효응.장파장위550 nm시적반사솔화투사솔수Cu막후도변화관계적교점대응후도작위특정후도, 해후도가인위시금속Cu막생장종불련속막진입련속막적최소련속막후.근거저일특정판거,리자속천사침적Cu막양품적최소련속막후위33 nm.이용원자력현미경관측료막후재특정후도부근시Cu막적표면형모.
