真空
真空
진공
VACUUM
2010年
6期
6-9
,共4页
宋青竹%张以忱%孙足来%张峻豪%陈旺
宋青竹%張以忱%孫足來%張峻豪%陳旺
송청죽%장이침%손족래%장준호%진왕
磁控溅射%薄膜厚度均匀性%综合设计系统%数值仿真
磁控濺射%薄膜厚度均勻性%綜閤設計繫統%數值倣真
자공천사%박막후도균균성%종합설계계통%수치방진
镀膜工艺中的薄膜厚度均匀性问题是实际生产中十分关注的.本文在现有的理论基础之上,对溅射镀膜的综合设计方法进行了初步的建立和研究,系统的建立可以采用"整体到部分,再到整体"这一动态设计理念,不断完善设计方法,并将设计方法分为镀膜设备工程设计、镀膜工艺设计和计算机数值仿真三大部分.镀膜设备工程设计、镀膜工艺设计及二者的数值仿真这三者之间是相辅相成的,镀膜设备工程设计决定镀膜工艺过程的实现,镀膜工艺促进镀膜设备的升级,而高性能的计算机仿真设计给两者的设计提供了强有力的支持.
鍍膜工藝中的薄膜厚度均勻性問題是實際生產中十分關註的.本文在現有的理論基礎之上,對濺射鍍膜的綜閤設計方法進行瞭初步的建立和研究,繫統的建立可以採用"整體到部分,再到整體"這一動態設計理唸,不斷完善設計方法,併將設計方法分為鍍膜設備工程設計、鍍膜工藝設計和計算機數值倣真三大部分.鍍膜設備工程設計、鍍膜工藝設計及二者的數值倣真這三者之間是相輔相成的,鍍膜設備工程設計決定鍍膜工藝過程的實現,鍍膜工藝促進鍍膜設備的升級,而高性能的計算機倣真設計給兩者的設計提供瞭彊有力的支持.
도막공예중적박막후도균균성문제시실제생산중십분관주적.본문재현유적이론기출지상,대천사도막적종합설계방법진행료초보적건립화연구,계통적건립가이채용"정체도부분,재도정체"저일동태설계이념,불단완선설계방법,병장설계방법분위도막설비공정설계、도막공예설계화계산궤수치방진삼대부분.도막설비공정설계、도막공예설계급이자적수치방진저삼자지간시상보상성적,도막설비공정설계결정도막공예과정적실현,도막공예촉진도막설비적승급,이고성능적계산궤방진설계급량자적설계제공료강유력적지지.
