单晶圆清洗技术的研究
단정원청세기술적연구
Research on the Single-wafer Cleaning Technology
  • 万方数据
    科技情报开发与经济 과기정보개발여경제
    SCI/TECH INFORMATION DEVELOPMENT & ECONOMY
    2009年 29期 215-217 ,共3页

    任耀华%康冬妮

    임요화%강동니

    单晶圆清洗%批处理%交叉污柒%成品率%臭氧 單晶圓清洗%批處理%交扠汙柒%成品率%臭氧
    단정원청세%비처리%교차오칠%성품솔%취양
    分析以往批处理清洗技术面临的问题及现代清洗技术的关键要求,介绍了采用臭氧的单晶圆清洗工艺,提出了臭氧清洗需要解决的问题.
    분석이왕비처리청세기술면림적문제급현대청세기술적관건요구,개소료채용취양적단정원청세공예,제출료취양청세수요해결적문제.
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